一,、電子制造業(yè)廠萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間特點(diǎn)：

潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量,、溫度、濕度、壓差,、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度,、無(wú)塵車(chē)間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類(lèi)無(wú)塵車(chē)間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格,。其中對(duì)濕度的要求尤甚,。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞,。文本標(biāo)簽：電子制造業(yè)廠萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量,、溫度、濕度,、壓差,、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無(wú)塵車(chē)間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,，另外該類(lèi)無(wú)塵車(chē)間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格,。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電,，造成CMOS集成損壞,。   一般來(lái)說(shuō)，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,，相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定),。這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺(jué)舒適,。漯河萬(wàn)級(jí)無(wú)塵凈化車(chē)間工程

二,、電子無(wú)塵車(chē)間清潔要求:

（1）清潔潔凈室內(nèi)墻體時(shí)，應(yīng)使用潔凈工程潔凈室無(wú)塵布,。

（2）用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑,。

（3）使用已獲批準(zhǔn)的凈化工程潔凈室去污劑。

（4）每天都要檢查無(wú)塵車(chē)間和裝備間的垃圾箱,，并及時(shí)清走,。

（5）每塊地板都要吸塵處理。并在“無(wú)塵車(chē)間清潔記錄”表上標(biāo)明工作完成情況,。例如在哪結(jié)束從哪開(kāi)始,。

（6）清潔無(wú)塵凈化工程潔凈室的地面時(shí)，應(yīng)先關(guān)閉凈化系統(tǒng),，并使用無(wú)塵室拖把,。

（7）在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過(guò)濾器的真空吸塵器。

（8）無(wú)塵室所有的門(mén)窗都需要清潔,、保養(yǎng),。

（9）潔凈室每天需吸塵,，拖地；一周需擦一次墻面,、門(mén)窗,。

（10）無(wú)塵車(chē)間架空地板下也要吸塵及擦拭。

（11）電子無(wú)塵車(chē)間三個(gè)月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱,。

（12）在潔凈室工作時(shí)一定要記住，永遠(yuǎn)是由上往下擦,，從離門(mén)遠(yuǎn)的地方向門(mén)的方向擦,。

三、無(wú)塵車(chē)間的分類(lèi)

（1）工業(yè)無(wú)塵車(chē)間

工業(yè)無(wú)塵車(chē)間以無(wú)生命微粒的控制為對(duì)象,。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染,，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè),、電子工業(yè)（半導(dǎo)體,、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè),、原子能工業(yè),、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤(pán)、膠片,、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）,、電腦硬盤(pán)、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè),。

（2）生物無(wú)塵車(chē)間

生物無(wú)塵車(chē)間主要控制有生命微粒與無(wú)生命微粒（塵埃）對(duì)工作對(duì)象的污染,。又可分為：

A、一般生物潔凈室：主要控制微生物（）對(duì)象的污染,。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,，內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室,。例：制藥工業(yè),、醫(yī)院（手術(shù)室、無(wú)菌病房）食品,、化妝品,、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室,、理化檢驗(yàn)室,、血站等。

B,、生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染,。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓,。例：學(xué)、生物學(xué),、潔凈實(shí)驗(yàn)室,、物物工程（重組基因、疫苗制備）,。

無(wú)塵車(chē)間的裝修一般對(duì)環(huán)境衛(wèi)生有一定要求,，這也與行業(yè)特點(diǎn)有關(guān)。車(chē)間地面的出現(xiàn)為無(wú)塵車(chē)間的地面裝飾提供了新的材料,。 它具有清洗方便等許多特點(diǎn),，可以在很大程度上滿足車(chē)間生產(chǎn)地面裝飾的要求。 在車(chē)間使用環(huán)氧地坪需要無(wú)塵處理,，這對(duì)于車(chē)間地面的應(yīng)用具有重要意義,。

無(wú)塵車(chē)間安裝內(nèi)系統(tǒng)除了通稱(chēng)的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi),，本節(jié)將對(duì)該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說(shuō)明,。

無(wú)塵車(chē)間安裝內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之重點(diǎn)有三：

1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：

a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備,，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵,。

b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。

c.生產(chǎn)用之水,、氣體,、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過(guò)濾裝置,。

d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí),，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則,。

e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類(lèi)設(shè)備,，應(yīng)設(shè)置在無(wú)塵車(chē)間安裝外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣,。

f.設(shè)置給水管線,、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔,，不易積累污染物,。

g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積,。

h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制,，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。

i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子,，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行,，并加隔離柵隔離,。

j.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無(wú)塵車(chē)間安裝之各項(xiàng)規(guī)定,，且負(fù)責(zé)應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工,。

k.應(yīng)有無(wú)塵車(chē)間安裝工具組，但不得帶出無(wú)塵車(chē)間安裝外使用,。

l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近無(wú)塵車(chē)間安裝設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室,，將是一理想之規(guī)劃。

2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：

a.磨損,、切削均為發(fā)生微塵之原因,，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。

b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備,，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。

c.在操作時(shí),，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品,。

d.不得有太大或不必要的操作動(dòng)作，以免卷起附近之灰塵,。

e.各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水,、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過(guò)濾設(shè)備。

f.為不使氣體或液體滯留,，造成微污染,，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。

3.自動(dòng)化與無(wú)塵化：

a.設(shè)立自動(dòng)化傳送系統(tǒng),，可減少人員方面所帶來(lái)的污染,，唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴，須詳加評(píng)估,。

b.建立管制項(xiàng)目如進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間安裝人員的限定,，無(wú)塵車(chē)間安裝作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，無(wú)塵車(chē)間安裝管理規(guī)則等,，這些規(guī)則已在前面敘述,，此處不再說(shuō)明。

在無(wú)塵車(chē)間安裝之維護(hù)管理方面,，可分三部分加以說(shuō)明：

1.建筑物之維護(hù)管理：

a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔,。

b.地板之清掃管理及損壞更新。

c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補(bǔ),。

d.窗戶及門(mén)之保養(yǎng)等,。

2.環(huán)境測(cè)定與管理：

無(wú)塵車(chē)間安裝內(nèi)之運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測(cè),，以確實(shí)掌握質(zhì)量,，若有數(shù)據(jù)異常,，可立即做緊急處理。

3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護(hù)管理：

a.溫,、濕度及塵埃濃度管理,，在前面以述及，唯其量測(cè)儀器應(yīng)做定期校正檢驗(yàn),，若有設(shè)備移動(dòng)或施工時(shí)須測(cè)量,。

b.過(guò)濾網(wǎng)之管理：定期檢查及更換，表6為各種過(guò)濾網(wǎng)之檢查及更換周期,。

c.空氣調(diào)節(jié)器管理：定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況,，冷熱盤(pán)管是否有腐蝕現(xiàn)象。

d.送風(fēng)機(jī)之管理：定期檢查送風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀況,。如表7所示為送風(fēng)機(jī)之各項(xiàng)檢查內(nèi)容及周期,。

e.風(fēng)管及出風(fēng)口之管理：檢查風(fēng)管是否有腐蝕、污染,、塵埃堆積或保溫脫落等,。

f.測(cè)試及量測(cè)儀器管理：定期校正及保養(yǎng)。

g.室內(nèi)壓力管理：連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄,，以維持正壓為基準(zhǔn),。

h.冷凍主機(jī)、泵浦,、鍋爐及冷卻水塔之管理：定期檢查保養(yǎng)及記錄運(yùn)轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析,，以調(diào)整加藥量等。

i.無(wú)塵車(chē)間安裝停止運(yùn)轉(zhuǎn)再開(kāi)機(jī)要點(diǎn)管理：?jiǎn)?dòng)后立即進(jìn)行微塵粒子之測(cè)試,，須無(wú)塵車(chē)間安裝恢復(fù)穩(wěn)定正常時(shí)再開(kāi)始作業(yè),。

無(wú)塵車(chē)間安裝內(nèi)用品的管理

 無(wú)塵車(chē)間安裝內(nèi)用品除了進(jìn)出無(wú)塵車(chē)間安裝用的潔凈衣、鞋,、頭罩,、帽、手套,、等,，尚有如紙張文具、桌子,、椅子,、芯片盒、搬運(yùn)車(chē),、筆記本,、告示板及垃圾箱、吸塵器等,。

潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會(huì)發(fā)塵者為基本條件,，且其布料為不易燃燒,、不起毛，其織法或布料之組織不易通過(guò)污染物和不附著污染物之材質(zhì),，另外經(jīng)過(guò)磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小,，洗滌再生容易、不易皺,、著衣感舒適等亦為選用考慮因素,。頭罩材質(zhì)為無(wú)塵紙或無(wú)紡布制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同,，二者在穿戴使用時(shí),，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆,，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住,，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來(lái),。無(wú)塵車(chē)間安裝用鞋要合腳且穿起來(lái)舒適為基本條件,，容易洗滌，底則采用塑料底,，布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)*塞入緊密包著,。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹(shù)脂（Viny1）,，在使用過(guò)程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用,，原則上不使用有粉之Viny1手套為佳,。

潔凈衣鞋帽子等須由專(zhuān)人管理，并定期做清洗,，清洗須在無(wú)塵車(chē)間安裝內(nèi)進(jìn)行,。并以純水配合清潔溶劑，并經(jīng)約0.2μm之過(guò)濾器為之,。一般洗滌周期視潔凈度等級(jí)而定,，在高潔凈區(qū)（CLASS1）為2~3天，其它區(qū)域則為五天至一星期,，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封,。潔凈衣之置放場(chǎng)所亦須為無(wú)塵車(chē)間安裝，備用品或新品存放柜內(nèi),，正使用者則吊掛衣架上,，以方便取用。桌椅一般以不銹鋼材質(zhì),，并需表面加工處理為之,，若不得不使用鍍鋅品或木制品,，其表面須施環(huán)氧樹(shù)脂（Epxoy）加工以防表面發(fā)塵。工作桌好有打洞,，邊緣有倒角,。以利氣流之運(yùn)動(dòng)。椅子盡量采用沒(méi)有背及腳踏板者,，椅腳高度以坐下來(lái)腳可以觸到地板者為原則,。但若一定須使用高腳椅時(shí)，則要準(zhǔn)備腳踏環(huán),。桌及椅子之腳好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套,。

芯片盒為放置芯片之用，材質(zhì)以選取擇不易摩損,、不發(fā)塵易清潔之材質(zhì)如鐵弗（Teflon）等,，至于搬運(yùn)車(chē)則以構(gòu)造簡(jiǎn)單為原則，并忌使用折迭式,，材質(zhì)仍采用不銹鋼為宜,，車(chē)輪為耐磨性高之橡膠輪胎，車(chē)輪軸承采用雙密封式滾珠軸承,。推送搬運(yùn)車(chē)時(shí)不得急速運(yùn)推而以緩行為適,。筆記本之紙質(zhì)應(yīng)采用無(wú)塵紙制成者，且不得使用影印數(shù)據(jù),，若非萬(wàn)不得已須使用,，則須將文件放在透明之塑料套內(nèi)或加覆背，同時(shí)不可于室內(nèi)撕破或?qū)⒓埲喑梢粓F(tuán),，避免造成環(huán)境之污染,。如表5所示為不同紙張材質(zhì)發(fā)塵量之比較。普通黑板及粉筆當(dāng)然不能在高無(wú)塵車(chē)間安裝內(nèi)使用,，必要時(shí)可在更衣室等無(wú)塵車(chē)間安裝較低等級(jí)的區(qū)域使用白板,。無(wú)塵車(chē)間安裝內(nèi)不得放置清潔用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不銹鋼,，且置于維修區(qū)中的固定位置,，桶須覆以蓋子，以利管制,，并定期清理,。

真空吸塵器，其功能是在吸取無(wú)塵車(chē)間安裝內(nèi)地板上,、下及設(shè)備上附著之塵?；蛞后w以防止這些塵粒之再飛揚(yáng)，以達(dá)到清潔的目的，由于真空吸塵器在作業(yè)時(shí)會(huì)有排氣產(chǎn)生,，若未經(jīng)處理,，將嚴(yán)重影響無(wú)塵車(chē)間安裝之潔凈度和氣流，因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過(guò)濾器,，以除去塵埃,。唯現(xiàn)今之無(wú)塵車(chē)間安裝均設(shè)有式吸塵系統(tǒng)，并于現(xiàn)場(chǎng)預(yù)留吸塵口,，故一般之清潔過(guò)程均利用此系統(tǒng),，以減少使用真空吸塵器時(shí)的氣流干擾,在使用式系統(tǒng)時(shí)，須注意排氣旦之控制避免使無(wú)塵車(chē)間安裝內(nèi)之壓力降低至規(guī)定范圍以下,。至于真空吸塵器因?qū)贌o(wú)塵車(chē)間安裝內(nèi),，故不可移至室外使用，若不用時(shí)應(yīng)置于較低等級(jí)的無(wú)塵車(chē)間安裝中,，旦每次使用后應(yīng)清掃吸管,、收塵箱等吸氣系統(tǒng)。漯河萬(wàn)級(jí)無(wú)塵凈化車(chē)間工程