電子潔凈廠房技術(shù)要求規(guī)范

1,、噪聲要求

1.1單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB（A）,，

1.2非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于60dB（A）。蕪湖無塵車間凈化施工公司

2,、消防要求

   2.1 按火災(zāi)危險(xiǎn)性分類,，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間,，或有防火分隔要求時(shí),，應(yīng)設(shè)隔墻；

3,、 物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗,。

4、 潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí),，應(yīng)符合下列規(guī)定：

4.1 使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置,，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)；

4.2 對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵,，可燃?xì)怏w濃度超過爆炸下限的20%時(shí),，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分；

4.3 傳輸易燃,、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵,，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?。氮?dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖,。

5、 潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí),。

5.1在綜合性廠房的一個(gè)防火分區(qū)內(nèi),，凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定,。

5.2 潔凈廠房的安全出口的設(shè)置,，應(yīng)符合下列規(guī)定;

   1  每一生產(chǎn)層、每個(gè)防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目,應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定

   2  安全出口應(yīng)分散布置,并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志;安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定,。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開啟,并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗;

   3  丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房,在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后,安全疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍,。

注：對(duì)于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm 的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/㎡,，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定,，但不得大于120m。

5.3 潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)置消防口,，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 潔凈區(qū)各層消防口的設(shè)計(jì),，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；

2 潔凈廠房外墻上的吊門,、電控自動(dòng)門以及裝有柵欄的窗,，均不應(yīng)作為消防口。

5.4潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險(xiǎn)的房間應(yīng)靠建筑外墻布置,，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰,。有爆炸危險(xiǎn)的房間的防爆措施、泄爆面積等應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定,。

6,、 潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好,，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料,。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50222的有關(guān)規(guī)定,。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50,，材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。

7,、潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差,，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定,；

2 不同等級(jí)的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；

3 潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa,；

4  潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa,。

8、  空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于8級(jí)的潔凈室（區(qū)）不應(yīng)采用散熱器采暖,。

9,、  

 1 應(yīng)防止室外氣流倒灌；

2 含有易燃,、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施,；

4 對(duì)含有水蒸汽或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放口,；

5 排風(fēng)介質(zhì)中含有害物質(zhì)時(shí),，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源,；

6 排風(fēng)介質(zhì)中含易燃,、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī),，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源,；

7 排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，其風(fēng)量應(yīng)按在正常運(yùn)行和事故情況下,，風(fēng)管內(nèi)爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計(jì),；

8 排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置,。

10,、 對(duì)排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險(xiǎn)性物質(zhì)的排氣管路,，應(yīng)保持相對(duì)于路由區(qū)域一定的負(fù)壓值。

11,、潔凈室（區(qū)）事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì),，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 事故排風(fēng)區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h；

2 應(yīng)設(shè)置自動(dòng)和手動(dòng)控制開關(guān),、手動(dòng)控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室（區(qū)）和潔凈室（區(qū)）外便于操作的地點(diǎn),；

3 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

7.6.1 潔凈廠房中的疏散走廊,，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施,。

7.7.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管的防火閥的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定,。

含有可燃,、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道,，不得設(shè)置熔片式防火閥。

7.7.7

   2 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作,；

3 附件,、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。

8.3.1 生產(chǎn),、生活排水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置,。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點(diǎn)確定,。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理達(dá)到國家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)后排放,。

8.3.2 潔凈室（區(qū)）內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備相連接的重力排水管道，應(yīng)在排出口以下部位設(shè)置水封裝置,。排水系統(tǒng)應(yīng)有完善的通氣系統(tǒng),。

8.5.1 潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定,。

8.5.2

   1 潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層）,，應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓；

8.5.3

   3 存放可燃?xì)怏w鋼瓶的特氣柜中應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火設(shè)施,。

9.2.3

   3 不循環(huán)支管的長度不應(yīng)大于管徑的6倍,；

4 干管應(yīng)設(shè)置清洗口；

12,、潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)設(shè)備用照明;

12.2.4 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明,，其照度不應(yīng)低于5.0lx。在安全出入口,、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志,。在消防口應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈。

12.3.2 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng),，其防護(hù)等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定,。當(dāng)防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的大建筑面積允許值時(shí)，保護(hù)等級(jí)應(yīng)為一級(jí),。

12.3.4

1 潔凈生產(chǎn)區(qū),、技術(shù)夾層、機(jī)房,、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測(cè)器,，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置智能型探測(cè)器,；

3 硅烷儲(chǔ)存,、分配間（區(qū)），應(yīng)設(shè)置紅外線—紫外線火焰探測(cè)器,；

 12.4.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí),，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制,并應(yīng)設(shè)置無風(fēng),、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí),，應(yīng)設(shè)置無水,、無風(fēng)斷電保護(hù)。

13.2.1

    2 防靜電地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性材料,，靜電耗散性材料表面電阻率應(yīng)為2.5× ~1×?,；  

3 防靜電地面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)靜電泄放設(shè)施和接地連接，其地面對(duì)地泄放電阻值應(yīng)為1×~1× ?,。

13.3.4對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工程中產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備,、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施,，其中有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)的設(shè)備,、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。蕪湖無塵車間凈化施工公司