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PICOSUN ALD 原子層沉積系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 PICOSUN ALD
  • 產(chǎn)地 芬蘭
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/25 13:45:45
  • 訪問次數(shù) 1679

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公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù),;目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造,、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團隊,專業(yè)服務(wù)于混合電路,、光電模塊,、MEMS、先進封裝(TSV,、Fan-out等),、化合物半導(dǎo)體、微波器件,、功率器件,、紅外探測、聲波器件,、集成電路,、分立器件、微納等領(lǐng)域,。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER,、EVG,、TRYMAX、CAMTEK,、CENTROTHERM,、SENTECH、ENGIS,、ADT,、SONOSCAN、ASYMTEK,、MARCH,、PANASONIC、HYBOND,、OKI,、KEKO等),,為向客戶提供先進的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅實基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,,微組裝設(shè)備,,LTCC設(shè)備,化工檢測設(shè)備

價格區(qū)間 100萬-200萬 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,航天

名稱:PICOSUN 原子層沉積系統(tǒng)

產(chǎn)地:芬蘭

Picosun簡介

Picosun是yi家公司,,Picosun的總部位于芬蘭的Espoo,,其生產(chǎn)設(shè)施位于芬蘭的Masala(Kirkkonummi)。PICOSUN®ALD設(shè)備專為高產(chǎn)量和高產(chǎn)量而設(shè)計,,并且不斷發(fā)展以提高效率,。Picosun適應(yīng)性強其客戶包括  大的電子制造商,小型的創(chuàng)新型挑戰(zhàn)者以及的大學(xué),。 Picosun的組織機構(gòu)和種類繁多的ALD解決方案都可以滿足每個客戶的需求,。PICOSUN®研發(fā)工具具有*的內(nèi)置可擴展性,可確保將研究結(jié)果平穩(wěn)過渡到大批量工業(yè)制造中,,而不會出現(xiàn)技術(shù)差距,。Picosun的熱情在于創(chuàng)新。當(dāng)您想與設(shè)備制造商共同創(chuàng)建定制的ALD解決方案,,從而引ling行業(yè)發(fā)展時,,Picosun是您的合作伙伴。


PICOSUN™ P系列量產(chǎn)ALD系統(tǒng)定義了高產(chǎn)量ALD的新時代,。我們?nèi)詣踊?、真空集群與產(chǎn)線兼容的P系列ALD確保了大的產(chǎn)出效率,并且具有的工藝純度和薄膜均勻性,,甚至能*具有嚴(yán)格要求的半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),。PICOSUN™ P系列ALD高效緊湊的設(shè)計節(jié)約了昂貴的場地成本,系統(tǒng)的易維護性減少了停工期,。對于系統(tǒng)的維護、工藝故障的排除,,我們?yōu)榭蛻籼峁I(yè)的售后服務(wù)Picosupport™,。根據(jù)用戶的需求,確保每時每(24/7/365)快速提供全面的解決方案,。在購買之前,,我們提供做樣服務(wù),確保系統(tǒng)具有好的性能,,*您的需求,。


PICOSUN 原子層沉積系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)

襯底尺寸和類型

50 – 200 mm /單片

156 mm x 156 mm 太陽能硅片

150 mm x 150 mm 顯示面板

工藝溫度

50 - 500 °C , 可選更高溫度

基片傳送選件

氣動升降(手動裝載)

半自動裝載,用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實現(xiàn)

25片晶圓盒對盒式全自動裝載(cassette-to-cassette),,用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實現(xiàn)

標(biāo)準(zhǔn)

SEMI S2 認(rèn)證(認(rèn)證中)

前驅(qū)體

液態(tài), 固態(tài), 氣態(tài), 臭氧源, 等離子體(多4路氣體):

前驅(qū)源余量傳感器,,并提供清洗和裝源服務(wù)

6根獨立源管線,,多加載12個前驅(qū)體源(加上Plasma管路,共7根獨立源管線)

重量

790 kg

尺寸 (W x H x D)

160 cm x 80 cm x 240 cm

可選件

集群工具, PICOFLOW™ 擴散增強器, 集成橢偏儀, QCM, RGA, N2發(fā)生器,,尾氣處理器,,定制設(shè)計,與 工廠軟件連接服務(wù),。

驗收標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗收標(biāo)準(zhǔn)為 Al2O3 工藝,,

其他工藝可具體協(xié)商:其他工藝、應(yīng)用具體驗收標(biāo)準(zhǔn)如:

--不均勻性

--顆粒物含量

--重金屬污染

--電學(xué)性能

PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-200 Pro(圖例)


應(yīng)用領(lǐng)域

PICOSUN™ 200mm 生產(chǎn)線上的產(chǎn)品是200mm以下晶圓的自動化,、高產(chǎn)量的工業(yè)ALD加工設(shè)備,。包括PICOSUN™ P系列Pro ALD設(shè)備。該工具可以獨立工作,,也可以集成到PICOPLATFORM™200真空集群系統(tǒng)以達到更高的產(chǎn)量和自動化水平,。為了節(jié)約昂貴的設(shè)施空間,所有PICOSUN™的ALD系統(tǒng)有著緊湊,,高效的設(shè)計,。集成的專業(yè)機柜,裝載著前驅(qū)體和電子元件,,保證了快速簡便的維護和短的停機時間,。PICOSUN™ P系列Pro工具保證了大產(chǎn)能以及節(jié)約成本的情況下得到的ALD工藝質(zhì)量,并履行嚴(yán)格的現(xiàn)代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)力和安全要求,。



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