濕法顯影掩膜版清洗系統(tǒng)

手動(dòng)型SCS112

SCS112型是一款高效率手動(dòng)型的系統(tǒng),，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于在劃片或劃片后清洗晶片?？赏ㄟ^(guò)施加高壓DI水射流或霧化噴嘴來(lái)清潔安裝在環(huán)（抓環(huán)）或膠片框架上的晶圓,，然后使用高轉(zhuǎn)速，氮?dú)廨o助或紅外加熱燈進(jìn)行快速干燥,。該系統(tǒng)大可處理8英寸晶圓,。

功能：

• 可處理高達(dá)8英寸的晶圓，包括未安裝的晶片以及膠帶環(huán)形和薄膜框架安裝晶片。
• 振蕩高壓直流水,，風(fēng)扇射流組裝(取決于高達(dá)1500或2000磅/平方英寸 配置上)或霧化噴霧噴嘴,，高效清潔。
• 快速有效干燥的氮?dú)獯祾吆脱h(huán)結(jié)束時(shí)的氮晶片提升,。
• 微處理器控制并儲(chǔ)存多種配方,。
• 直流無(wú)刷主軸電機(jī)變速。
• DI水凈化,，營(yíng)造無(wú)細(xì)菌系統(tǒng),。
• 內(nèi)置安全聯(lián)鎖和正極蓋，運(yùn)行期間鎖定,。

選項(xiàng)： 

• 托盤(pán),，大可裝載8英寸晶片
• 用于干燥的紅外線(xiàn)加熱燈
• 消除靜電的二氧化碳再生離子器
• 內(nèi)置排氣鼓風(fēng)機(jī)
• 真空發(fā)生器

產(chǎn)品參數(shù)：

• 產(chǎn)品：晶圓，光掩膜和基板清潔系統(tǒng) 
• 型號(hào)：SCS112
• 可用機(jī)械臂：1
• 大基板尺寸：高達(dá)8英寸的晶圓片
• 大主軸速度：2500
• 配方：多3
• 分配：1
• 尺寸：26英寸寬x 21英寸深x 40英寸高
• 重量：約200磅
• 功率：220伏交流電,，10安培,，50/60赫茲

?

手動(dòng)型SCSe124

SCSe124型是用于光掩模，晶圓和基材的亞微米級(jí)清潔的理想解決方案,。該系統(tǒng)非?？煽壳揖哂谐杀拘б妫?jīng)過(guò)驗(yàn)證,，擁有各種清潔技術(shù),。SCSe124可以配置幾種不同的清潔選項(xiàng)，包括高壓DI水,，霧狀噴嘴,，刷子，Megasonic噴嘴等等,?？焖儆行У母稍锛夹g(shù)是結(jié)合了可變轉(zhuǎn)速和可選項(xiàng)加熱DI水，氮?dú)廨o助或加熱燈,。SCSe124具有微處理控制器,，該控制器可調(diào)整過(guò)程參數(shù)，并儲(chǔ)存多達(dá)10個(gè)程序,。

功能：

• 可處理直徑高達(dá)10英寸的基板,。
• 主軸組件帶有直流無(wú)刷電機(jī)（可升級(jí)以獲得更多功能）。
• 可調(diào)節(jié)機(jī)械臂速度和行程位置,。
• 徑向排氣腔,，可實(shí)現(xiàn)大層流。
• 獨(dú)立式聚丙烯腔室,。
• 微處理器可控制10個(gè)程序段,。
• 內(nèi)置安全聯(lián)鎖,。
• 按鈕蓋啟動(dòng) 打開(kāi)/關(guān)閉。
• 觸摸屏圖形用戶(hù)界面（GUI）,，易于編程和安全鎖定以及屏幕錯(cuò)誤報(bào)告,。
• 多可使用2個(gè)機(jī)械臂。

產(chǎn)品參數(shù)：

• 產(chǎn)品：晶圓,，光掩膜和基板清潔系統(tǒng) 
• 型號(hào)：SCSe124
• 可用機(jī)械臂：2
• 大基板尺寸：直徑10英寸晶圓片
• 大主軸速度：2500
• 配方：多10
• 分配：12

?

手動(dòng)型SCSe126

SCSe126型是用于光掩模，晶圓和基材的亞微米級(jí)清潔的理想解決方案,。該系統(tǒng)非?？煽壳揖哂谐杀拘б妫?jīng)過(guò)驗(yàn)證,，擁有各種清潔技術(shù),。SCSe126可以配置幾種不同的清潔選項(xiàng)，包括高壓DI水,，霧狀噴嘴,，刷子，Megasonic噴嘴等等,?？焖儆行У母稍锛夹g(shù)是結(jié)合了可變轉(zhuǎn)速和可選項(xiàng)加熱DI水，氮?dú)廨o助或加熱燈,。SCSe126具有微處理控制器,，該控制器可調(diào)整過(guò)程參數(shù)，并儲(chǔ)存多達(dá)10個(gè)程序,。

功能：

• 可處理直徑高達(dá)10英寸的基板,。
• 主軸組件帶有直流無(wú)刷電機(jī)（可升級(jí)以獲得更多功能）。
• 可調(diào)節(jié)機(jī)械臂速度和行程位置,。

•     徑向排氣腔,，可實(shí)現(xiàn)大層流。

•     獨(dú)立式聚丙烯腔室,。

•     微處理器可控制10個(gè)程序段,。

•     內(nèi)置安全聯(lián)鎖。

•     按鈕蓋啟動(dòng) 打開(kāi)/關(guān)閉,。

•     觸摸屏圖形用戶(hù)界面（GUI）,，易于編程和安全鎖定以及屏幕錯(cuò)誤報(bào)告。

•     多可使用4個(gè)機(jī)械臂,。

?產(chǎn)品參數(shù)：

• 產(chǎn)品：晶圓,，光掩膜和基板清潔系統(tǒng) 
• 型號(hào)：SCSe126
• 可用機(jī)械臂：4
• 大基板尺寸：直徑10英寸晶圓片
• 大主軸速度：2500
• 配方：多10
• 分配：12