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EVG301 超聲波晶圓清洗機 熔融/混合鍵合

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岱美儀器技術服務(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)成立于1989年,,是一間擁有多年經驗的高科技設備分銷商,,主要為數據存儲、半導體,、光通訊,、高校及研發(fā)中心提供各類測量設備、工序設備以及相應的技術支持,,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關系,。自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產品以及各類服務,、解決方案廣泛地運用于中國香港,,中國大陸(上海、東莞、北京),,中國臺灣,,泰國,菲律賓,,馬來西亞,,越南及新加坡等地區(qū)。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術支持的產品:

晶圓鍵合機,、納米壓印設備,、紫外光刻機、涂膠顯影機,、硅片清洗機,、超薄晶圓處理設備、光學三維輪廓儀,、硅穿孔TSV量測,、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀,、主動及被動式防震臺系統(tǒng),、應力檢測儀、電容式位移傳感器,、定心儀等,。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請聯(lián)系我們,,了解我們如何開始與您之間的合作,,實現您的企業(yè)或者組織機構長期發(fā)展的目標。




膜厚儀,,輪廓儀,,EVG鍵合機,EVG光刻機,,HERZ隔震臺,,Microsense電容式位移傳感器

價格區(qū)間 面議 儀器種類 微流控芯片系統(tǒng)
應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,能源,電子,航天


EVG301 超聲波晶圓清洗機 熔融/混合鍵合

研發(fā)型單晶圓清洗系統(tǒng)


一、簡介

EVG301 超聲波晶圓清洗機 熔融/混合鍵合采用一個清潔工作臺,,使用標準DI水沖洗以及超聲波,,刷子和稀釋化學品清潔晶圓作為額外的清潔選項。通過手動加載和預對準,,EVG301是一種多功能研發(fā)型系統(tǒng),,可實現靈活的清潔程序,支持300 mm晶圓,。EVG301系統(tǒng)可與EVG的晶圓對準和鍵合系統(tǒng)結合使用,,在晶圓鍵合之前清除任何顆粒,。旋轉夾頭可用于不同的晶圓和基片尺寸,以便輕松配置不同的工藝,。


二,、特征

使用1 MHz兆聲波噴嘴或區(qū)域傳感器進行高效清潔(可選)

刷子擦洗,用于單面清潔(可選)

用于晶圓清洗的稀釋化學品

防止從背面到正面的交叉污染

*由軟件控制清潔過程


三,、可選項

帶IR檢測的預鍵合臺

用于非SEMI標準基片的工具


四,、參數

1、晶圓尺寸:200mm,,100-300mm

2,、清洗系統(tǒng):

打開腔室,旋轉器和清潔臂

3,、腔室:由PP或PFA制成(可選)

4,、清潔介質:去離子水(標準),,其他清潔介質(可選)

5,、旋轉夾頭:真空夾頭(標準)和邊緣處理夾頭(可選)由金屬離子和清潔材料制成

旋轉:高達3000 rpm(5秒內)

6、超聲波噴嘴:

頻率:1 MHz(3 MHz選項)

輸出功率:30 - 60 W

去離子水流量:高達1.5升/分鐘

有效的清潔區(qū)域:?4.0mm

材質:PTFE






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