主要特點(diǎn)：

1.      體積小,、操作簡單,、性能強(qiáng)（4nm@20kV）、擴(kuò)展功能豐富

2.      擁有多個(gè)探測(cè)器（SE,、BSE）

3.      擁有低真空功能,，不導(dǎo)電和含水樣品直接觀察

4.      標(biāo)配五軸樣品臺(tái)（三軸馬達(dá)）

5.      可選可變壓力探測(cè)器UVD，實(shí)現(xiàn)高真空光信號(hào)（如CL）觀察

6.      可選SEM-MAP光鏡導(dǎo)航功能

7.      報(bào)告導(dǎo)出功能

應(yīng)用領(lǐng)域：

材料科學(xué)

生命醫(yī)學(xué)

食品衛(wèi)生

半導(dǎo)體電子元器件

汽車制造

1 安裝條件

1.1 電源電壓 220V（±10%）,，50Hz

1.2 獨(dú)立地線接地電阻＞40 歐姆

1.3 實(shí)驗(yàn)室溫度 15~30℃,，濕度≤70%。

1.4 高分辨電鏡主機(jī)設(shè)計(jì),。

2 技術(shù)要求

2.1 分辨率 SE 探頭：4.0nm 20kv; 15.0nm 1kv

BSE 探頭：5.0nm 20kv

2.2 加速電壓：0.3k~ 20kV 連續(xù)可調(diào)

2.3 放大倍數(shù)： 6 - 300,000倍

2.4 真空系統(tǒng)

2.4.1 具有低真空功能,，高低真空切換，不需要安裝壓差光闌

2.4.2 低真空：低真空（壓力范圍）：6Pa—100Pa

2.4.3 真空泵泵系統(tǒng) 渦輪分子泵和機(jī)械泵各 1 臺(tái)

2.5 電子光學(xué)系統(tǒng)

2.5.1 電子探頭：具有 4 級(jí)自動(dòng)偏壓功能

2.5.2 聚光鏡光闌*安裝在長內(nèi)襯管內(nèi),，用戶可自行更換聚光鏡光闌,。

2.5.3 燈絲飽和自動(dòng)調(diào)節(jié),，具有高中低三個(gè)檔位

2.5.4 燈絲：預(yù)對(duì)中燈絲

2.5.5 物鏡光闌：4 孔可動(dòng)式物鏡光闌

2.6 樣品室和樣品臺(tái)

2.6.1 樣品臺(tái)尺寸：裝載直徑≥150mm 樣品

2.6.2 樣品臺(tái)：5 軸樣品臺(tái)，3 軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

2.6.3 行程：X=40mm ,；Y=50mm ; Z=5-15mm,；R=3600；T=-15～+900

2.7 探測(cè)器及成像系統(tǒng)

2.7.1 二次電子探測(cè)器：二次電子像

高靈敏 5 分割背散射電子探測(cè)器：成分像,、形貌像和三維像

2.7.2 成像模式：同時(shí)得到二次電子像,，背散射電子像，兩種圖像混合像

2.7.3 圖像捕捉模式：快慢掃描捕捉,、積分捕捉

2.7.4 存儲(chǔ)圖像像素不小于 5120 X 3840

2.7.5 電鏡操作控制系統(tǒng)：鼠標(biāo),、鍵盤、旋鈕盒

2.7.6自動(dòng)功能：自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整,，具有高,、中、低三個(gè)檔位,，自動(dòng)電子束對(duì)中

2.7.7電子圖像位移：＞±50μm（WD=10mm）

2.7.8計(jì)算機(jī)操作系統(tǒng)：Windows 10 Pro 64位,，INTEL 四核處理器，4G內(nèi)存,，500G硬盤,，DVD

刻錄光驅(qū)。

2.7.9配有圖像管理軟件

2.7.10 電鏡操作控制系統(tǒng)：鼠標(biāo),、鍵盤

2.8 美國 IXRF 能譜儀能譜儀

2.8.1 探測(cè)器元件面積：10mm2