掃描電子顯微鏡 AeroSurf 15特色

• 含水樣品也無(wú)需前處理即可在大氣壓下進(jìn)行SEM觀察
• 從低真空到大氣壓（數(shù) Pa～105 Pa）,，可在大范圍壓力下進(jìn)行SEM觀察
• 標(biāo)準(zhǔn)搭載ES-Corrector（電子束散射校正）圖像改善功能
• 在真空模式下,，除了通常的SEM觀察之外，還可進(jìn)行EDX分析（選配）
• 主機(jī)采用330 mm寬度的小型設(shè)計(jì),，實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間和高便利性
• 無(wú)需等待抽真空時(shí)間,，快速實(shí)現(xiàn)從搭載樣品到觀察圖像的全過(guò)程
• 概要

大氣壓觀察（圖1）

• 樣品設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓環(huán)境下（105 Pa）
• 配置樣品的大氣壓倉(cāng)室與SEM內(nèi)部由隔膜分離，在保持SEM內(nèi)部真空的同時(shí),，可對(duì)樣品進(jìn)行電子束照射觀察
• 而且,，可通過(guò)附帶的真空泵在負(fù)壓下（約103～105 Pa）進(jìn)行觀察

低真空觀察（圖2）

• 隔膜可拆卸，還可進(jìn)行低真空SEM觀察和EDX分析
• 搭載了日立臺(tái)式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器

圖1：大氣壓或負(fù)壓觀察時(shí)

圖2：低真空觀察時(shí)

掃描電子顯微鏡 AeroSurf 15規(guī)格

應(yīng)用實(shí)例
材料領(lǐng)域

含水再生纖維素纖維的干燥動(dòng)態(tài)觀察

樣品提供：旭化成株式會(huì)社 乙部先生

將浸水的纖維先在40 kPa下緩慢自然蒸發(fā)多余水分,，然后在大氣壓下進(jìn)行了觀察,。
首先觀察到纖維之間的水分蒸發(fā)，然后是纖維內(nèi)部的水分蒸發(fā),，并因此纖維本身收縮,，后是整個(gè)樣品收縮的情景。
根據(jù)此觀察的結(jié)果以及纖維干燥時(shí)和含水時(shí)的直徑測(cè)試結(jié)果,，得出含水時(shí)膨脹30%,，和含水時(shí)的纖維膨脹率。

ZEPTORON PP（聚丙烯納米纖維）的經(jīng)時(shí)觀察

試樣提供：Zepto Co., Ltd.

在疏水性優(yōu)異的此樣品中,，可看到油滲入纖維內(nèi),，水分不會(huì)滲入，所以可觀察到水分在纖維上的情景,。

植物領(lǐng)域

花粉

光學(xué)顯微鏡觀察后，無(wú)需干燥處理即可在大氣壓下進(jìn)行SEM觀察,。

杜鵑花花粉

食品領(lǐng)域

味噌（自家制）

干燥的意大利面

在大氣壓下觀察干燥的意大利面的表面后,，在真空中觀察同一樣品，可觀察到表面有大量裂紋,。
推測(cè)是在真空環(huán)境下,，樣品內(nèi)部的水分和空氣蒸發(fā)時(shí)將試樣表面破壞，即使是干燥的樣品,，如果想觀察本來(lái)的形狀,，通過(guò)大氣壓SEM進(jìn)行觀察是一種有效的方法。

生物領(lǐng)域

大腸桿菌

大腸桿菌經(jīng)過(guò)培養(yǎng)后,，用純水稀釋,，涂抹在塑料板上，用甲醇固定后進(jìn)行了觀察（無(wú)染色）,。