FR-portable 便攜式膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成：

Α白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng),，通過內(nèi)嵌式微處理器控制,，使用壽命超過20000小時(shí)。

小型光譜儀,，光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達(dá)3648像素,， 16位級(jí) A/D 分辨精度；配有USB通訊接口,；

Β)   FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng),，

可精確計(jì)算如下參數(shù)：

1）單一或堆積膜層的厚度；

2）靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下,，單一膜層的折射率,；本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫,，可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,，透射率和反射率的測量,，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用*,，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結(jié)果分析使用,。

C)   參考樣片：

a)   經(jīng)校準(zhǔn)過的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片；

b)   經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有SiO₂/Si 特征區(qū)域的樣片,；

c)   經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有Si₃N₄/SiO₂/Si特征區(qū)域的樣片,；

D)   反射探針臺(tái)和樣片夾具

可處理的樣品尺寸達(dá)200mm, 包含不規(guī)則的尺寸等；

手動(dòng)調(diào)節(jié)可測量高度可達(dá)50mm,；

可針對更大尺寸訂制樣片夾具,；

Ε)   反射率測量的光學(xué)探針

內(nèi)嵌系統(tǒng)6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm；