Automegasamdri-915BSeries C臨界點(diǎn)干燥儀特點(diǎn)：

• 6”圓晶MEMS釋放后的立式超臨界點(diǎn)干燥儀,；
• 內(nèi)部高效隔熱的冷卻循環(huán)系統(tǒng),，使系統(tǒng)能夠迅速從室溫降到將近0°C；
• Post-Purge 過濾器容易更換及維護(hù),；
• 內(nèi)置SOTER^TM冷凝器,，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
• *的樣品室填塊可以調(diào)整樣品室內(nèi)徑到4",、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時(shí)間達(dá)到大化;
• 可以一次干燥5片直徑為6”的圓晶,，更換樣品架,，也可以一次干燥5片直徑4”、3”,、2”的圓晶或5片邊長(zhǎng)為10mm的方晶（提供HF兼容的樣品架）,；
• 內(nèi)腔有照明燈，樣品室蓋子帶觀察窗,，便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài),；
• 通過微處理控制器來保證自動(dòng)處理過程的進(jìn)行及結(jié)果的可重復(fù)性；
• 所有內(nèi)表面均適用于液態(tài)二氧化碳,、高純乙醇和丙酮,；
• 可重復(fù)設(shè)定的操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性；
• 集成自動(dòng)控溫,；
• 內(nèi)置圓盤裂片保證安全,；
• 靜態(tài)壓力控制模塊，自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性,；
• 0.4μm內(nèi)部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室,；
• 每個(gè)操作模式LED顯示，一目了然;
• 潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì),；
• 所有電氣部件符合UL,、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)；

Automegasamdri-915BSeries C臨界點(diǎn)干燥儀規(guī)格：

• 外部尺寸：寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm),；
• 安裝占地尺寸：寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm),；
• 樣品室尺寸：內(nèi)徑6.50” × 深1.25”，樣品室容積：679 ml;
• 溫度范圍：- 30 ℃ 至 60 ℃,，壓力范圍：0 - 2000 psi,；
• LCO2的流速是通過帶游標(biāo)卡尺的微型微型計(jì)量閥門來控制；
• 120V/50-60HZ(可選其他電壓),；

標(biāo)準(zhǔn)配件：

• 高壓不銹鋼LCO2管（內(nèi)襯Teflon） 3 米長(zhǎng),；
• 外部LCO2過濾裝置，去除水/油以及顆粒（小至0.5μm）,，過濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接,，安裝方便；
• 安裝工具,；
• 防靜電排氣管,，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣；
• 內(nèi)部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護(hù)線路,、晶片和閥門
• 樣品室O型圈3個(gè),，樣品室照明燈2個(gè)，3A和8A保險(xiǎn)絲各2個(gè),；
• 4個(gè)Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括6,、4,、3、2和1.25英寸;
• 直徑為6,、4,、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長(zhǎng)為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容,；
• 流量計(jì),，可精確控制BLEED的排氣速率；
• 用戶手冊(cè),；
• 所有部件一年質(zhì)保,。