Autosamdri-815, Series B 臨界點干燥儀特點：

• 方晶和1”圓晶MEMS釋放后的超臨界點干燥儀,；
• 通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結(jié)果的可重復性；
• 電磁閥門以及密封適用于LCO2,、乙醇及丙酮,；
• 內(nèi)表面適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮,；
• 可重復設(shè)定操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復性,；
• 每次運行可以處理5×10mm的方晶或5×1”的圓晶，（提供可以兼容HF的樣品架,，方便處理樣品）,；
• 集成自動控溫；
• 內(nèi)置圓盤裂片保證安全,；
• 每個操作模式LED顯示，一目了然,；
• 潔凈室和防靜電兼容設(shè)計,；
• *的固態(tài)電子系統(tǒng)；
• 高效隔熱冷卻系統(tǒng)：在90秒內(nèi)可以把樣品室從室溫冷卻到操作所需溫度,；
• 靜態(tài)壓力控制模塊,，自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性；
• 0.4μm內(nèi)部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室,；
• 內(nèi)腔有照明燈,，樣品室蓋子帶觀察窗,，便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài)；
• 微型計量閥門帶游標卡尺,，可實現(xiàn)重復設(shè)定及控制流速;
• 標配SOTER^TM冷凝器,，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
• 所有電氣部件符合UL,、CE和U.S.Military標準,；

Autosamdri-815, Series B 臨界點干燥儀規(guī)格：

• 外部尺寸：寬14.0” (35.6 cm) × 高10.25” (26.0 cm) × 長21.5” (54.6cm)；
• 占地尺寸：寬36” (92 cm) × 深30” (76 cm),；
• 樣品室尺寸：內(nèi)徑1.25” × 深1.25”; 樣品室容積：25ml
• 溫度范圍：- 30 ℃ 至 60 ℃,，壓力范圍：0 - 2000 psi；
• Purge時間范圍：0-45 min
• 120V/50-60HZ(可選其他電壓),；

標準配件：

• 高壓不銹鋼LCO2管（內(nèi)襯Teflon） 3 米長,；
• 外部LCO2過濾裝置，去除水/油以及顆粒（小至0.5μm）,，過濾裝置可預先與LCO2管連接,，安裝方便；
• SOTERTM冷凝器,，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳,，降低排氣噪音；
• 防靜電排氣管,，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣,；
• 內(nèi)部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護線路、晶片和閥門
• 流量計,，可精確控制BLEED的排氣速率,；
• 樣品室O型圈2個，樣品室照明燈2個,，5A保險絲2個,；
• HF兼容的10mm方晶PTFE插片架，每次操作多能裝載5個晶片
• 安裝工具一套
• 用戶手冊,；
• 所有部件一年質(zhì)保,。