Park原子力顯微鏡XE15具備多個(gè)特殊功能,，是共享實(shí)驗(yàn)室處理各類樣品,、研究員進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)、失效分析師研究晶片等的*,。合理的價(jià)格搭配強(qiáng)健的性能設(shè)置,，使其成為業(yè)內(nèi)性價(jià)比高的大型樣品原子力顯微鏡。

Park原子力顯微鏡XE15MultiSample™（多重采樣^TM）掃描器帶來便捷樣品測量

- 多樣品一次性自動(dòng)成像

- 特殊設(shè)計(jì)的多樣品夾頭,，多可承載16個(gè)獨(dú)立樣品

- 全自動(dòng)XY樣品載臺,，行程范圍達(dá)200 mm x 200 mm。

無軸間耦合提高掃描精度

- 兩種獨(dú)立閉環(huán)XY和Z平板式掃描

- 平板式和線性XY掃描可達(dá)100μm x 100μm,，且殘余壓彎小

- 整個(gè)掃描范圍內(nèi)的異面移動(dòng)小于2nm

- 強(qiáng)力掃描器達(dá)25μm Z掃描范圍

- 精確的高度測量

Non-Contact™（真正非接觸^TM）模式延長針尖使用壽命,、改善樣品保存及精度

- 其Z掃描頻寬是壓電管基礎(chǔ)系統(tǒng)的10倍

- 非接觸式可降低針尖磨損、延長使用壽命

- 成像分辨率高于同類原子力顯微鏡

- 降低樣品干擾,，提高掃描精度

 提供用戶體驗(yàn)

- 開放式側(cè)面接入,，提高樣品及針尖更換效率

- 預(yù)對準(zhǔn)的針尖安裝和*的軸上俯視法可簡單直觀地實(shí)現(xiàn)激光對準(zhǔn)

- 燕尾鎖封片方便鏡頭拆卸

- 界面帶自動(dòng)設(shè)置功能，方便用戶使用

多種模式與選項(xiàng)

- 綜合性測量模式及特性設(shè)置,，是我司通用型原子力顯微鏡

- 多種可選配件及更新,，擴(kuò)展性能*

-? 為缺陷分析提供*電氣測

* 產(chǎn)品特點(diǎn)

100um x 100 um掃描范圍的XY柔‘性導(dǎo)向掃描器

XY掃描器含系統(tǒng)二維彎曲及強(qiáng)力壓電堆疊，可使極小平面外移動(dòng)形成較大的正交運(yùn)動(dòng),，并能快速響應(yīng),，實(shí)現(xiàn)精確的樣品納米級掃描。

柔性導(dǎo)向強(qiáng)力Z掃描器

在強(qiáng)力壓電堆疊的驅(qū)動(dòng)及彎曲結(jié)構(gòu)的引導(dǎo)下,，其硬度允許掃描器高速豎直運(yùn)動(dòng),，較傳統(tǒng)原子力顯微鏡掃描器更加高速。大Z型掃描范圍搭配遠(yuǎn)程Z掃描器（選配）可延長12μm至25μm,。