沈陽科儀公司生產(chǎn)的樣品臺采用*的設計工藝、模塊化設計,，通過不同的模塊組合,，可實現(xiàn)大小升降差動、高溫抗氧化,、自轉(zhuǎn)等功能,。SKY樣品臺適用于各種*的薄膜生長和沉積技術(shù)，包括MBE,、PLD,、磁控濺射和EB等，也可用于襯底退火,、高溫除氣和材料改性,。

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、升降樣品臺襯底高加熱溫度1100℃,；
2,、可接入RF/DC；
3,、持續(xù)旋轉(zhuǎn),，轉(zhuǎn)速60轉(zhuǎn)/分,；
4、升降樣品臺模塊化設計允許多種組合配置選擇,；
5,、樣品尺寸容納8英寸以下。

結(jié)構(gòu)特點

1,、直流或射頻偏壓引入模塊,；

2、小升降調(diào)節(jié)模塊,；
3,、大升降調(diào)節(jié)模塊；
4,、擋板模塊,；
5、加熱器及熱偶模塊,；
6,、零點定位。