英國愛德華渦輪分子真空泵STPH301C 

概述

Edwards 的高性能 STPH301C 渦輪分子泵是為嚴(yán)苛的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)的,。這種泵經(jīng)過實(shí)踐檢驗(yàn)的可靠性和性能可以實(shí)現(xiàn)大的制程靈活性,。STPH301C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可,。愛德華STPH301C STPH451C渦輪分子真空泵

應(yīng)用

• 金屬（鋁）,、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD,、PECVD,、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源,，射束線泵送端點(diǎn)站
• MBE
• 擴(kuò)散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長
• 晶片檢查
• 負(fù)載鎖真空腔 
• 科學(xué)儀器：表面分析,、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線,、加速器
• 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng),、回旋

  功能和優(yōu)勢

  良好的轉(zhuǎn)子技術(shù)  

• 更高的氣體吞吐量

• 大的制程靈活性

• 無油

• 低振動(dòng)

• 高度可靠

• 免維護(hù)

• 可用于嚴(yán)苛制程

• 使用壽命延長

• 良好的控制器設(shè)計(jì)  

• 自動(dòng)調(diào)整

• 自行診斷功能

• 直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)

• 無電池運(yùn)行

• 緊湊型設(shè)計(jì)  

• 占地面積小

• 半機(jī)架控制器

• 5 軸磁懸浮系統(tǒng)

• 無污染

• 少維護(hù) 愛德華STPH301C STPH451C渦輪分子真空泵

• 任意方向操作 

  技術(shù)數(shù)據(jù)

  入口法蘭	ISO100K
  出口	KF40
  吹掃口	KF10
  水冷卻接頭	PT1/4
  抽速
  N2	300 ls-1
  H2	200 ls-1
  壓縮比
  N2	>108
  H2	103
  加熱時(shí)的極限壓力	10-7 Pa
  	(10-9 Torr)
  大連續(xù)出口壓力	660 Pa
  	(5 Torr)
  大氮?dú)馔掏铝?/td>	2500 sccm
  額定速度	48000 rpm
  啟動(dòng)時(shí)間	4 分鐘
  高入口法蘭溫度	120 °C
  輸入電壓	100 至 120 (± 10) V 交流或
  	200 至 240 (± 10) V 交流
  功耗	0.6 kVA
  泵重量	15 kg
  控制器重量	9 kg

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廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶愛德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵

荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林愛德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵

濟(jì)南青島威海德州連云港昆明九江安慶愛德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵

一、進(jìn)口真空泵維修：
1,、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600,、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80),、QDP系列,、DP系列、E1M系列,、E2M系列,、EH系列、QMB系列,、RV系列,、ESDP12、GVSP30等,。
2,、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P),、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28,、ACP40),、RHV系列,、SD系列、C1系列,、C2系列,、I系列、H1系列,、A系列等,。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等),、SC系列,、DIVAC系列、DK系列,、DRYVAC系列,、WS系列、SP系列,、TRIVAC系列,、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列,、AV系列,、AW系列、AA系列,、AAS系列,、X系列等。
5,、KASHIYAMA：MU系列,、SDE系列、SDL系列,、KMB系列,、NeoDRY系列等。
6,、ORION(好利旺)：KRX系列,、CBX系列、KRF系列,、KHF系列,、KHA系列、KRA系列,、KHH系列等,。
7、BECKER(貝克)：U系列,、VT系列,、KVT系列,、VTLF系列、T系列,、DVT系列,、DVTLF系列等。
8,、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列,、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等,。
9,、ULVAC(愛發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列,、PVD油旋片真空泵系列等,。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列,、TS/DS干式真空泵系列等,。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12,、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二,、進(jìn)口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包,、旋片,、軸承、油封,、過濾器,、轉(zhuǎn)子、軸,、隔板,、密封圈、定位銷,、控制板等,。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華),、ALCATEL(阿爾卡特),、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉),、KASHIYAMA,、ORION(好利旺)、BECKER(貝克),、RIETSCHLE(里其樂),、ULVAC(愛發(fā)科),、VIRIAN(瓦里安)等,。

三,、進(jìn)口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油,、ADIXEN真空油等,。