英國(guó)愛德華渦輪分子泵STP-XA2703C VG250

概述

STP-XA2703C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內(nèi)提供高性能,，并提高所有氣體的吞吐量,。 

此泵基于新的平臺(tái)設(shè)計(jì)，提供各種功能以改善熱管理,，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能,，提高大制程流能力,，并減少腐蝕和沉積的影響,。 

其出色的性能既適用于溫和的應(yīng)用環(huán)境，也適用于嚴(yán)苛的環(huán)境,，例如半導(dǎo)體刻蝕,、注入、光刻和 LCD 制程,。英國(guó)愛德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修

應(yīng)用

• 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物,、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD,、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源,，射束線泵送端點(diǎn)站
• MBE
• 擴(kuò)散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長(zhǎng)
• 晶片檢查
• 負(fù)載鎖真空腔
• 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析,、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線,、加速器
• 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋英國(guó)愛德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修

  功能和優(yōu)勢(shì)

  良好的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)  

• 增強(qiáng)的 H2,、N2 和 Ar 性能

• 改進(jìn)了在高真空到 2300 sccm 制程壓力范圍內(nèi)的性能

• 免維護(hù)

• 5 軸磁懸浮系統(tǒng)  

• 無(wú)污染

• 低振動(dòng)

• 創(chuàng)新性轉(zhuǎn)矩管理  

• 獲得轉(zhuǎn)矩減少機(jī)械裝置

• 優(yōu)化的溫度管理系統(tǒng)  

• 高溫 TMS 能力

• 低沉積

• 內(nèi)置冷卻機(jī)械裝置

• 更高的氣體吞吐量（加熱和未加熱）

• 延長(zhǎng)壽命

• 可用于嚴(yán)苛制程

• 認(rèn)證  

• 符合 SEMI®，具有 CE 標(biāo)記,，列于 UL 中

  技術(shù)數(shù)據(jù)

  入口法蘭	VG250
  抽速
  N2	2650 ls-1
  H2	2050 ls-1
  壓縮比
  N2	>108
  H2	>6 x 103
  極限壓力	10-7 Pa
  大允許前級(jí)壓力	266 Pa
  大允許氣體流量
  N2（水冷卻）	2300 sccm
  	(3.8 Pam3s-1)
  Ar（水冷卻）	1900 sccm
  	(3.2 Pam3s-1)
  額定速度	27500 rpm
  啟動(dòng)時(shí)間	8 min
  固定位置	任何方向
  水冷卻流量	3 lmin-1
  水冷卻溫度	5-25 °C (41-77 °F)
  壓力	0.3 MPa
  推薦的吹掃氣體流量	50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)
  輸入電壓	200 至 240 V 交流(± 10)
  功耗	1.5 kVA
  泵重量	75 kg (165 lb)
  控制器重量	12 kg (26.4 lb)

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一,、進(jìn)口真空泵維修：
1,、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200),、IQDP系列(IQDP80),、QDP系列,、DP系列,、E1M系列、E2M系列,、EH系列、QMB系列,、RV系列,、ESDP12,、GVSP30等。
2,、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P,、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122),、ACP系列(ACP28,、ACP40)、RHV系列,、SD系列,、C1系列、C2系列,、I系列,、H1系列、A系列等,。
3,、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列,、DIVAC系列,、DK系列、DRYVAC系列,、WS系列,、SP系列、TRIVAC系列,、WH/WHU系列等
4,、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列,、AW系列,、AA系列,、AAS系列、X系列等,。
5,、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列,、SDL系列,、KMB系列、NeoDRY系列等,。
6,、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列,、KRF系列,、KHF系列、KHA系列,、KRA系列,、KHH系列等。
7,、BECKER(貝克)：U系列,、VT系列、KVT系列,、VTLF系列,、T系列、DVT系列,、DVTLF系列等,。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列,、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列,、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9,、ULVAC(愛發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列,、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等,。
10,、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等,。
11,、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二,、進(jìn)口真空泵配件銷售：
1,、類型：真空泵維修包,、旋片、軸承,、油封,、過濾器、轉(zhuǎn)子,、軸、隔板,、密封圈,、定位銷、控制板等,。
2,、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特),、LEYBOLD(萊寶),、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA,、ORION(好利旺),、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂),、ULVAC(愛發(fā)科),、VIRIAN(瓦里安)等。

三,、進(jìn)口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油,、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等,。