CV-1000/CV-2000系列輪廓儀表面粗糙度測(cè)量的技術(shù)參數(shù)：
X1軸
測(cè)量范圍:100mm或200mm
檢測(cè)方法:線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:80mm/s
移動(dòng)方向:向后
直線度:(0.05+L/1000)μm(S4,H4,W4型)
0.5μm/200mm(S8,H8,W8型)
Z2軸(立柱)垂直移動(dòng):300mm或500mm
分辨率:1μm
檢測(cè)方法:ABSOLUTE線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:0-30mm/s、外加手動(dòng)
檢測(cè)器
CV-1000/CV-2000系列輪廓儀范圍／分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(2400μm使用測(cè)頭選件)
檢測(cè)方法:無軌／有軌測(cè)量
測(cè)力:4mN或0.75mN(低測(cè)力型)
測(cè)針針尖:金剛石,、90o/5μmR(60o/2μmR:低測(cè)力型)
導(dǎo)頭曲率半徑:40mm
檢測(cè)方法:差動(dòng)電感式

驅(qū)動(dòng)器(X軸)和立柱(Z2軸)均配備了高精度線形編碼器(其中Z2軸上為ABS型),。因此，在垂直方向?qū)π】走B續(xù)自動(dòng)測(cè)量,、對(duì)較難定位部件的重復(fù)測(cè)量的重復(fù)精度得以提高,。