LUPHOScan 850 HD 是泰勒霍普森推出的一款大型光學(xué)工件精密檢測儀,,基于多波長干涉技術(shù)(MWLI®),,專為大型復(fù)雜光學(xué)應(yīng)用工件的精密檢測而設(shè)計(jì)。以下是其相關(guān)介紹:
測量原理:基于多波長干涉技術(shù)(MWLI®),,通過測量傳感器在被測工件表面按預(yù)設(shè)路徑掃描,,同時(shí)工件自身旋轉(zhuǎn),利用多波長干涉?zhèn)鞲屑夹g(shù)測量絕對距離,,實(shí)現(xiàn)對工件表面三維面形的測量,。
測量范圍:測量口徑范圍可從 5mm 到 850mm,測量高度可達(dá) 210mm,,大工件負(fù)載可達(dá) 350kg,,可滿足多種尺寸大型光學(xué)工件的檢測需求。
測量精度:具有高精度和高重復(fù)性的面形誤差測量能力,,精度可達(dá) <λ/20 (PV99i),,RMS 最小可達(dá) 5nm*,能為大型光學(xué)工件提供高精度的測量數(shù)據(jù),。
可測工件類型:主要用于對非球面透鏡,、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉(zhuǎn)對稱表面的超高精密非接觸式三維表面形狀測量,。
可測材料:幾乎能測量所有的材料,,包括透明、鏡面,、不透明,、拋光或磨光面等,適用范圍廣泛,。
功能特性:具備全新設(shè)計(jì)的 Flying spot 環(huán)紋抑制模式,、基于相位的自動(dòng)對焦、像素穩(wěn)定光學(xué)縮放及全新的變倍模式等,。其智能設(shè)置功能可根據(jù)安裝的不同附件自動(dòng)配置,,還擁有 ZYGO 有氦氖穩(wěn)頻激光以及模塊化、密閉光學(xué)系統(tǒng),。
性能優(yōu)勢:測量速度快,,對不常見的表面形狀,如平頂或有拐點(diǎn)的輪廓,,具有高度靈活性,,并且具有優(yōu)異的重復(fù)性。
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