G-TRAN系列 多離子規(guī)
SH2-1/SH2-2

ULVAC開發(fā)不同測定范圍的測定子可連接換能器型『G-TRAN 系列多離子規(guī)』(特許申請中)，并進(jìn)行制品化。過去復(fù)數(shù)方式原理組合成一個匡體的復(fù)合真空計,，「一個測定子的故障導(dǎo)致測定子需要全部更換」「測定子結(jié)構(gòu)復(fù)雜容易故障」「測定子價格高」等的客戶反饋經(jīng)常聽到,，如果是這種新方式，可以進(jìn)行廣帶域測定,，運(yùn)行費(fèi)用大幅削減,，對應(yīng)低環(huán)境負(fù)荷。愛發(fā)科真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2?

特點

? 廣域測定：從大氣壓到高真空領(lǐng)域（10⁺⁵?5×10^-8Pa）可以進(jìn)行測定（SPU?SAU同時使用的場合）

? 不同測定范圍的測定子可以連接：多離子規(guī)(特許申請中)的采用導(dǎo)致可以選擇適合用途的測定子

? 正確的大氣壓測定：大氣壓確認(rèn)容易過去正確可能(使用SAU場合)

? 低環(huán)境負(fù)荷對應(yīng)：針對測定子進(jìn)行必要的更換,，盡可能降低運(yùn)行成本費(fèi)

? 辨認(rèn)性提升：搭載可以確認(rèn)異常的LED

? 保養(yǎng)性：測定子的更換容易

? 測定值輸出信號：壓力0-10V輸出(信號輸出)

? 控制輸出信號：設(shè)定值3點輸出可能(SH2-1)

? 串行通信規(guī)格：RS232C/RS485通信可能（SH2-2）

? 適合規(guī)格：CE標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)

愛發(fā)科真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2?

用途

? 太陽能電池,，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體,，電子部品為主的各種制造裝置的高真空領(lǐng)域過程控制用

? 內(nèi)聯(lián)式,，枚葉式等多種過程室搭載的各種制造裝置的高真空領(lǐng)域的到達(dá)壓力確認(rèn)用

? 高真空?超高真空裝置的壓力測定用

規(guī)格

■ 各模式規(guī)格：可選擇SH2-1/SH2-2是多離子規(guī)單體模式,，皮拉尼真空計與組合模式，皮拉尼真空計及大氣壓傳感器與三倍組合模式的3種使用方法

蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵,、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2

常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安
日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵,、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2

如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2

紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵,、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2

廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵,、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2

荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2

濟(jì)南青島威海德州連云港昆明九江安慶日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵,、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2

模式	SH2-1/SH2-2 單體模式	SH2-1/SH2-2＋SPU 組合模式	SH2-1/SH2-2＋SPU＋SAU 組合模式
測定壓力范圍	5×10-8?1×10+1Pa	5×10-8?1×10+4Pa	5×10-8?1×10+5Pa
測定精度	5×10-8?1×10+1Pa： ±15%	5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度	5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度 1.0×10+4?1.0×10+5Pa： ±3%F.S. (3×10+3Pa? 基準(zhǔn)溫度25ºC)
重復(fù)性精度	1×10-6?1×10-1Pa： ±2%
連接圖 (例)