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FM-NanoviewLS-AFM 工業(yè)型原子力顯微鏡
- 公司名稱 蘇州飛時(shí)曼精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) FM-NanoviewLS-AFM
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/1/15 11:52:38
- 訪問(wèn)次數(shù) 4495
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-50萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 原子力顯微鏡 |
工業(yè)型原子力顯微鏡
FM-NanoviewLS-AFM
◆ 實(shí)現(xiàn)樣品保持不動(dòng),，探針移動(dòng)掃描的原子力顯微鏡,；
◆ 采用閉環(huán)三軸獨(dú)立壓電平移式掃描器，大范圍高精度掃描；
◆ 樣品尺寸,、重量基本不受限制,，特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測(cè)；
◆ 龍門架式掃描頭設(shè)計(jì),，大理石底座,，真空吸附式載物臺(tái)；
◆ 超大行程二維電動(dòng)樣品移動(dòng)臺(tái),，快速選擇感興趣的樣品區(qū)域,；
◆ 高倍光學(xué)定位系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)探針
工業(yè)型原子力顯微鏡技術(shù)參數(shù)
◆ 基本工作模式：接觸,、輕敲,、F-Z力曲線測(cè)量、RMS-Z曲線測(cè)量,、摩擦力/側(cè)向力,、振幅/相位、磁力和靜電力
◆ 選配工作模式：Profile線快速測(cè)量模式
◆ 最大樣品尺寸：Φ≥300mm,，H≥50mm
◆ 閉環(huán)掃描范圍：XY向100um,，Z向10um
◆ 閉環(huán)掃描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm
◆ 樣品移動(dòng)范圍：300mm×300mm
◆ 輔助光學(xué)定位：10X物鏡,，光學(xué)分辨率1um（可選配20X,，光學(xué)分辨率0.8um）
◆ 氣動(dòng)式減震臺(tái)，減震頻率0.5Hz
◆ 噪音水平：＜0.1nm
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz,，掃描角度0~360°
◆ 掃描控制：XY采用18-bit D/A,，Z采用16-bit D/A
◆ 數(shù)據(jù)采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式：DSP數(shù)字反饋
◆ 反饋采樣速率：64.0KHz
◆ 通信接口：USB2.0/3.0
◆ 運(yùn)行環(huán)境：WindowsXP/7/8/10操作系統(tǒng)
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