佰力博高溫四探針測試儀采用*雙電測四探針測量原理,，專門用于評估半導(dǎo)體薄膜和薄片的導(dǎo)電性能,，該系統(tǒng)采用直排四探針測量原理和單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計研發(fā),，可以實現(xiàn)高溫、真空及惰性氣氛條件下測量硅,、鍺單晶（棒料,、晶片）電阻率和硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻,。高溫測量過程中,，控溫精度可達到±1℃。

雙電測組合

目前雙電測組合（亦稱雙位組合）四探針法有三種模式：I13V24和I14V23模式（1）,，I12V34和I14V23模式（2）,，I12V34和I13V24模式（3），HRMS-800高溫四探針測試儀采用模式（2）,，通過用計算機對三種模式的理論進行比較研究的結(jié)果證明：對無窮大被測片三種模式都一樣,，可是測量小片或大片邊緣位置時，模式（2）更好,，它能自動消除邊界影響,，略優(yōu)于模式（3）,，更好于模式（1）

技術(shù)參數(shù)

規(guī)格特點：

★ 可以實現(xiàn)常溫,、高溫,、真空、氣氛條件下測量半導(dǎo)體薄膜材料的電學(xué)性能,；

★ 可以測量半導(dǎo)體薄膜和薄片材料的方塊電阻,、電阻率；

★ 可以實現(xiàn)常溫,、變溫,、恒溫條件的I-V、R-T,、R-t等測量功能,；

★ 可以通過輸入樣品的面積和厚度，軟件自動計算樣品的電阻率ρv,；

★ 可以分析電阻率ρv與溫度T的變化曲線,；

★ 集成一體化設(shè)計，觸摸屏控制和顯示,，具有的易用性,；

★ 可以自動調(diào)節(jié)施加在樣品的測試電壓，以防樣品擊穿,；

★ 進口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛,，最高耐溫1100℃，配有超溫報警電路,；

★ 耐高溫四探針夾具,，碳化鎢探針，99氧化鋁陶瓷絕緣,；

★ 可以通過USB傳輸數(shù)據(jù),，數(shù)據(jù)格式為Excel格式。