RMS-1000P RMS-1000P高溫四探針測量系統(tǒng)
參考價(jià) | ¥ 18 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 武漢佰力博科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) RMS-1000P
- 產(chǎn)地 中國武漢
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2018/8/28 16:55:20
- 訪問次數(shù) 390
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Partulab RMS-1000P高溫四探針測量系統(tǒng)主要用于評(píng)估半導(dǎo)體薄膜和薄片的導(dǎo)電性能,,該系統(tǒng)采用直排四探針測量原理和單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)研發(fā),可以實(shí)現(xiàn)高溫,、真空及惰性氣氛條件下測量硅,、鍺 單晶(棒料、晶片)電阻率和硅外延層,、擴(kuò)散層和離子注 入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻和電阻率,。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于高校科研院所和企業(yè)單位半導(dǎo)體薄膜和薄片材料電學(xué)性能研究,。
技術(shù)規(guī)范:
測量溫度:RT-1000℃ | 測量組合:四探針雙電測組合測量 |
升溫斜率:0-10℃/min (典型值:3℃/min) | 樣品尺寸:φ15~30mm,,d<4mm薄片或薄膜 |
控溫精度:±0.5℃ | 電極材料:碳化鎢針 |
電阻測量范圍:0.1mΩ~1MΩ | 針尖絕緣電阻:≥1000MΩ |
電阻率測量范圍:0.01mΩ.cm~100KΩ.cm | 絕緣材料:99氧化鋁陶瓷 |
電導(dǎo)率測量范圍:0.00001s/cm~100000s/cm | 供電:220V±10%,50Hz |
功能特點(diǎn):
★ 高溫爐膛,、測量夾具,、顯示及軟件集成于一體,測量精度更高,,儀器更加穩(wěn)定且易維護(hù),;
★RMS系列機(jī)型采用RAM嵌入式開發(fā)平臺(tái),可以進(jìn)行在線升級(jí),、遠(yuǎn)程協(xié)助及故障診斷,;
★多功能真空電學(xué)加熱爐可實(shí)現(xiàn)高溫、真空,、氣氛測量環(huán)境,;
★ 爐膛采用進(jìn)口金屬材料,耐高溫,、抗氧化,,可實(shí)現(xiàn)多種環(huán)境下的電學(xué)測量;
★采用三段PID精確控溫,,實(shí)現(xiàn)不同溫度區(qū)間的精確控溫,,控溫精度達(dá)到±0.5℃;
★爐膛升溫故障診斷監(jiān)控設(shè)計(jì),,隨時(shí)監(jiān)測爐膛運(yùn)行情況