EVC Class100 潔凈烘箱 無(wú)塵烘箱
- 公司名稱 艾德生儀器有限公司
- 品牌 EDESON/艾德生
- 型號(hào) EVC
- 產(chǎn)地 寧波
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/1/8 11:35:14
- 訪問(wèn)次數(shù) 6108
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,電氣 |
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Class 100 Clean Ovens
一,、設(shè)備用途:
Class100 潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵,、鈮酸鋰,、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示,、LCD,、CMOS、IS,、醫(yī)藥,、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥,、熱處理,、老化等其他高溫試驗(yàn)。
二,、產(chǎn)品特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),,過(guò)濾效率99.99%,,Class 100,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),,溫度場(chǎng)分布均勻,,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*溫度控制精度,。
三.無(wú)塵高溫試驗(yàn)箱,潔凈烘箱,無(wú)塵烤箱,百級(jí)無(wú)塵烘箱,Class100 潔凈烘箱,百級(jí)無(wú)塵烤箱,100級(jí)潔凈烤箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):
1.主要技術(shù)指標(biāo):
無(wú)塵等級(jí):Class 100; 溫度范圍: RT+20~+300℃,;
溫度均勻度:200℃±4℃; 溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
溫控精度:±0.1℃; 工作尺寸:W800×D600×H1300
電源:380v , 50Hz,15KW 網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))
潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理
HEPA高效過(guò)濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度,。zui小限度控制風(fēng)速距離,。
M計(jì)裝可編程控制
1模式20步驟,最多可做10個(gè)模式,。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定,。
簡(jiǎn)單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝
標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設(shè)定動(dòng)作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過(guò)升防止器,。
設(shè)備型號(hào) | 溫度范圍 | 內(nèi)容積 | 其它參數(shù) | 內(nèi)尺寸 (W×D×Hmm) | 外尺寸 (W×D×Hmm) |
EVC150 | (RT+60)~+200℃ | 150L | 潔凈度:100級(jí) | 500×500×600 | 770×1100×1,350 |
EVC360 | (RT+60)~+200℃ | 360L | 潔凈度:100級(jí) | 600×600×1000 | 770×1025×1850 |
EVC640 | (RT+60)~+200℃ | 640L | 潔凈度:100級(jí) | 800×800×1000 | 1,030×1100×1850 |
EVCH150 | (RT+60)~+350℃ | 150L | 潔凈度:100級(jí) | 500×500×600 | 770×1100×1,350 |
EVCH360 | (RT+60)~+350℃ | 360L | 潔凈度:100級(jí) | 600×600×1000 | 770×1025×1850 |
EVCH640 | (RT+60)~+350℃ | 640L | 潔凈度:100級(jí) | 800×800×1000 | 1,030×1100×1850 |
2,、箱體結(jié)構(gòu):
烘箱由箱體部分、電器控制柜,、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方,;
箱體材料:外箱采用SUS304 ,,1.5mm之拉絲不銹鋼,,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,可防止微塵,;
內(nèi)膽材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
中桶材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304,,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染),。
3,、溫控系統(tǒng):
采用日本“神港”溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定,、PID自 動(dòng)演算,、薄膜設(shè)定,精確度±0.3%FS,。,;
訊號(hào)來(lái)源:采用PT100熱電阻±0.5%。
輸出被控制組件:SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出,。
4,、完善的安全保護(hù)措施:
漏電斷路器、 控制線路保險(xiǎn)絲裝置,、 超溫防止保護(hù)裝置,、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、
馬達(dá)過(guò)電流保護(hù),、 機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示 逆向防止器,、 門(mén)面安全開(kāi)關(guān)
5、選購(gòu)設(shè)備(需另外收費(fèi)):
可程式溫控器 無(wú)紙記錄儀 三色指示燈 烘烤架
注:無(wú)塵等級(jí)和尺寸可根據(jù)要求定制,。