TMC 混合壓電陶瓷/氣浮主動隔振系統(tǒng)

LaserTable-Base對現(xiàn)有光學(xué)平臺的振動隔離技術(shù)進行了ji大改shan,。通常,，光學(xué)平臺是由低頻氣動隔振系統(tǒng)支撐,。雖然對于高頻的隔離非常有xiao，但是實際上被動系統(tǒng)在1-3H乙范圍內(nèi)會放大振動,。

TMC的STACIS技術(shù)通過將壓電陶瓷制動器和慣性振動傳感器結(jié)合的zhuan利技術(shù)來消chu而不是放大低頻振動,，成功地克服了這些局限,。LaserTable-Base綜合了氣浮和STACIS這兩種技術(shù)組成一個完整的振動消chu系統(tǒng)。由于兩種隔離系統(tǒng)的串聯(lián),，使此技術(shù)的振動隔離范圍從非常低的頻率到非常高的高頻,。

LaserTable-Base頂部的氣浮部分是模塊化的、可替換的,。它可以是TMC的Gimbal PistonTM氣浮隔振支腿,，或者MaxDampB氣浮隔離支腿，甚至可以是剛性支腿,，這取決于實際應(yīng)用的需求,。

特點

• 采用STACIS專li技術(shù)

• 主動式壓電陶瓷內(nèi)部振動消chu系統(tǒng)從低于1Hz開始隔離振動

• 擴展行程的壓電致動器，*高達60微米6個隔振自由度

• 為達到*大振動消chu，串聯(lián)2個隔離系統(tǒng)采用MaxDamp空氣隔離zhuan利技術(shù)操作簡單,，性能穩(wěn)健,，性價比高

• 桌子下有可用于放置設(shè)備的可選貨架包含TMC的DC-2020數(shù)字控制器

模擬VC-A (2,000 μin./s,50 μm/s)振動測試，負載為2000磅(907 kg)

將低頻被動MaxDampQ氣浮隔振系統(tǒng)與壓電陶瓷主動隔振系統(tǒng)串聯(lián),，得到垂直和水平方向兩個單獨的隔振性能曲線,。

由此產(chǎn)生的隔振性能對比明顯，以至于在某些頻率范圍內(nèi),，我們受到測量儀器噪聲地板的限制,，無法測量和演示完整的隔離性能。也就是說,，在10-12 Hz以上,，組合系統(tǒng)的實際性能有望超過理論隔振性能曲線，因為組合隔離理論上是兩個子系統(tǒng)提供的隔離能力的總和,。

TMC 混合壓電陶瓷/氣浮主動隔振系統(tǒng)

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