TMC 混合壓電陶瓷/氣浮主動隔振系統(tǒng)

LaserTable-Base對現(xiàn)有光學平臺的振動隔離技術進行了ji大改shan,。通常,，光學平臺是由低頻氣動隔振系統(tǒng)支撐,。雖然對于高頻的隔離非常有xiao，但是實際上被動系統(tǒng)在1-3H乙范圍內會放大振動,。

TMC的STACIS技術通過將壓電陶瓷制動器和慣性振動傳感器結合的zhuan利技術來消chu而不是放大低頻振動,，成功地克服了這些局限,。LaserTable-Base綜合了氣浮和STACIS這兩種技術組成一個完整的振動消chu系統(tǒng)。由于兩種隔離系統(tǒng)的串聯(lián),，使此技術的振動隔離范圍從非常低的頻率到非常高的高頻,。

LaserTable-Base頂部的氣浮部分是模塊化的、可替換的,。它可以是TMC的Gimbal PistonTM氣浮隔振支腿,，或者MaxDampB氣浮隔離支腿，甚至可以是剛性支腿,，這取決于實際應用的需求,。

特點

• 采用STACIS專li技術

• 主動式壓電陶瓷內部振動消chu系統(tǒng)從低于1Hz開始隔離振動

• 擴展行程的壓電致動器，*高達60微米6個隔振自由度

• 為達到*大振動消chu,，串聯(lián)2個隔離系統(tǒng)采用MaxDamp空氣隔離zhuan利技術操作簡單,，性能穩(wěn)健，性價比高

• 桌子下有可用于放置設備的可選貨架包含TMC的DC-2020數(shù)字控制器

模擬VC-A (2,000 μin./s,50 μm/s)振動測試,，負載為2000磅(907 kg)

將低頻被動MaxDampQ氣浮隔振系統(tǒng)與壓電陶瓷主動隔振系統(tǒng)串聯(lián),，得到垂直和水平方向兩個單獨的隔振性能曲線。

由此產生的隔振性能對比明顯,，以至于在某些頻率范圍內,，我們受到測量儀器噪聲地板的限制，無法測量和演示完整的隔離性能,。也就是說,，在10-12 Hz以上，組合系統(tǒng)的實際性能有望超過理論隔振性能曲線,，因為組合隔離理論上是兩個子系統(tǒng)提供的隔離能力的總和,。

TMC 混合壓電陶瓷/氣浮主動隔振系統(tǒng)

應用案例

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦：

激光控制：激光電流源、激光器溫控器,、激光器控制,、伺服設備與系統(tǒng)等等

探測器：光電探測器、單光子計數(shù)器,、單光子探測器,、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

定位與加工：納米定位系統(tǒng),、微納運動系統(tǒng),、多維位移臺、旋轉臺,、微型操作器等等

光源：半導體激光器,、固體激光器、單頻激光器,、單縱模激光器,、窄線寬激光器,、光通訊波段激光器、CO2激光器,、中紅外激光器,、染料激光器、飛秒超快激光器等等

光機械件：用于光路系統(tǒng)搭建的 gao 品 zhi 無應力光機械件,，如光學調整架,、鏡架、支撐桿,、固定底座等等

光學平臺：主動隔振平臺,、氣浮隔振臺、實驗桌,、剛性工作臺,、面包板、隔振,、隔磁,、隔聲綜合解決方案等等

光學y件：各類晶體、光纖,、偏轉鏡,、反射鏡、tou射鏡,、半透半反鏡,、濾光片、衰減片,、玻片等等

染料：激光染料,、熒光染料、光致變色染料,、光致發(fā)光染料,、吸收染料等等