TMC 主動隔振系統(tǒng) 寬帶0.2至150Hz 森泉光電

產(chǎn)品概述

STACIS®4是**的主動隔振系統(tǒng),。它裝有慣性振動傳感器，配合準確的控制算法與*的壓電作動器,。STACIS 4可實時偵測地面振動再憑借壓電作動器的收縮或膨脹即刻*除地面振動,。全新的STACIS 4建立在我們成熟的STACIS技術基礎上。

起初STACIS是為半導體工廠的精密光刻機,，計量儀和檢測設備而設計,，如今是嘈雜環(huán)境中z敏感儀器的行業(yè)標準隔振解決方案，包括但不限于故障分析,，納米技術研究,，納米制造，結(jié)構生物學和材料研究等應用,。

STACIS 4包括新改進的,，低噪聲的數(shù)字控制器，DC-2020帶有雙核處理器,。這種新的控制系統(tǒng)為使用者提供了一個易用的圖形用戶界面(GUI),。

STACIS 4建立在前幾代的成功架構上，增加了*的控制算法和新的專有技術,。以前無法實現(xiàn)對建筑物地面所有頻率的振動*除,，但特別是10Hz以下的振動，對高分辨率成像和計量來說*敏感的,。當與FloorSense™技術相結(jié)合時,，STACIS 4在2Hz時可減少60 dB的建筑物地面振動，在1Hz時可減少27dB,。

產(chǎn)品優(yōu)點：

• STACIS 4相比于氣浮支腿更加堅固可靠,，且不存在氣浮隔振系統(tǒng)離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐,，并且與主動的氣浮系統(tǒng)不同,。STACIS 4可以放置在具有內(nèi)部主動空氣隔離系統(tǒng)的設備下面，且兩個隔振系統(tǒng)相互兼容,。

• *特的串聯(lián)設計和專有的壓電技術所產(chǎn)生0.2 Hz至150 Hz的寬帶隔離,，在2Hz時可減少99.9%的振動。

• 比STACIS III要好的振動控制,，與行業(yè)標準解決方案相比,，STACIS 4將2 Hz的振動控制提高了60 dB以上,。

• 穩(wěn)定的串聯(lián)設計允許使得您安裝后即可，無需再次安裝調(diào)試,，不像并行式設計本質(zhì)上是不穩(wěn)定的,，需要頻繁調(diào)整以保持峰值性能。此外,，STACIS 4允許兩級振動控制設計,，可以在STACIS III系統(tǒng)之上結(jié)合被動或主動的平行平臺。隨著對儀器的振動分辨率的要求越來越高,，兩級設計正變得越來越普遍,。

• STACIS 4的性能相當于在穩(wěn)定的地面上減少5個VC曲線的振動。這種性能使用戶能夠靈活地在不理想的振動環(huán)境中安裝儀器,，從而在設施布局和設計方面具有更大的適配性,。

TMC 主動隔振系統(tǒng) 寬帶0.2至150Hz 森泉光電

性能

在VC-C (500μin/s, 12.5μm/s RMS)的模擬振動下測試4500磅(2045千克)*效載荷。

產(chǎn)品規(guī)格

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦：

激光控制：激光電流源,、激光器溫控器,、激光器控制、伺服設備與系統(tǒng)等等

探測器：光電探測器,、單光子計數(shù)器,、單光子探測器、CCD,、光譜分析系統(tǒng)等等

定位與加工：納米定位系統(tǒng),、微納運動系統(tǒng)、多維位移臺,、旋轉(zhuǎn)臺,、微型操作器等等

光源：半導體激光器、固體激光器,、單頻激光器,、單縱模激光器、窄線寬激光器,、光通訊波段激光器,、CO2激光器、中紅外激光器,、染料激光器,、飛秒超快激光器等等

光機械件：用于光路系統(tǒng)搭建的 gao 品 zhi 無應力光機械件，如光學調(diào)整架,、鏡架,、支撐桿、固定底座等等

光學平臺：主動隔振平臺,、氣浮隔振臺,、實驗桌,、剛性工作臺、面包板,、隔振,、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

光學元件：各類晶體,、光纖,、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡,、透射鏡,、半透半反鏡,、濾光片,、衰減片、玻片等等

染料：激光染料,、熒光染料,、光致變色染料、光致發(fā)光染料,、吸收染料等等