雷尼紹RELA的RESOLUTE UHV的光柵尺傳感器
- 公司名稱 深圳創(chuàng)盛世科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2018/5/28 9:49:32
- 訪問次數(shù) 371
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什么是RELA柵尺？
RELA是用ZeroMet（一種低膨脹鎳/鐵合金）制造的因鋼柵尺,，采用30 µm柵距的對(duì)式柵尺編碼,。
它可與精細(xì)柵距的玻璃柵尺媲美，在1 m長(zhǎng)度內(nèi)的總體精度（包括斜率誤差和線性誤差）優(yōu)于±1 µm,。ZeroMet在20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù)為0.75 ±0.35 µm/m/°C,。
系統(tǒng)設(shè)計(jì)人員可根據(jù)要求選擇背面自帶的特殊配方UHV兼容不干膠帶或用機(jī)械夾具進(jìn)行安裝。兩種安裝方式都有助于使柵尺不受基體熱膨脹影響,。
為什么選擇這種光柵系統(tǒng),？
UHV（超高真空）
RESOLUTE UHV采用雷尼紹革命性創(chuàng)新的對(duì)式光柵技術(shù)，通過一個(gè)適合在低達(dá)10 -9Torr的超高真空條件下應(yīng)用的讀數(shù)頭充分發(fā)揮其技術(shù)優(yōu)勢(shì),。新的RESOLUTE UHV光柵系列的構(gòu)造有利于進(jìn)行殘余氣體分析 (RGA) 而不會(huì)污染真空環(huán)境,，非常適合高性能、半導(dǎo)體和科研等應(yīng)用領(lǐng)域,。
優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)控制性能
成熟,、可靠和創(chuàng)新的工作方法造就了RESOLUTE UHV的業(yè)界的性能。重要的是,，該系統(tǒng)使用標(biāo)稱柵距為30 µm的單碼道非重復(fù)“條形碼”柵尺格式,。RESOLUTE讀數(shù)頭采用*的光學(xué)設(shè)計(jì)，可以捕獲該柵尺的準(zhǔn)瞬時(shí)圖像,，在分析時(shí),，它還能在速度達(dá)到100 m/s時(shí)識(shí)別*位置。該系統(tǒng)能夠憑借低至1納米（十億分之一米）的分辨率以及低噪聲（抖動(dòng)低于10 nm RMS）和僅為±40 nm的低SDE（電子細(xì)分誤差,，一個(gè)柵尺刻劃周期內(nèi)的誤差）確定位置,。該分析提供具有優(yōu)異保真度的光柵反饋，可確保更穩(wěn)定的速度控制和*的位置穩(wěn)定性,。
寬松的安裝公差
RESOLUTE UHV沒有采用傳統(tǒng)的雙碼道并排（一個(gè)為增量式,，另一個(gè)為對(duì)式）方法，因?yàn)樵摲椒ㄔ谟猩倭拷嵌葴?zhǔn)直偏差時(shí)會(huì)出現(xiàn)移相這一固有問題,。與之不同的是,，這種對(duì)式光柵采用單碼道對(duì)式柵尺，將對(duì)位置和內(nèi)置的相位信息整合為單個(gè)代碼,。該技術(shù)使RESOLUTE UHV具有更寬松的安裝公差（扭擺公差為±0.5°）,，因此安裝快捷方便，具有優(yōu)異的*穩(wěn)定性,，即使運(yùn)動(dòng)軸隨著時(shí)間的推移而出現(xiàn)駐留或移動(dòng)時(shí)也是如此,。讀數(shù)頭上有一個(gè)內(nèi)置LED安裝指示燈,，用于進(jìn)一步協(xié)助安裝和診斷。
技術(shù)規(guī)格
| 測(cè)量標(biāo)準(zhǔn) | RELA：對(duì)編碼式高精度ZeroMet柵尺 | |
| 讀數(shù)頭尺寸 (LxH) | 36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm | |
| 柵距 | 標(biāo)稱30 µm | |
| 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 0.75 ±0.35 μm/m/°C | |
| 20 °C時(shí)的精度等級(jí) | 認(rèn)證精度達(dá)到±1 µm,，校準(zhǔn)可朔源到標(biāo)準(zhǔn) | |
| 柵尺長(zhǎng)度 |
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| zui高速度 | zui高可達(dá)100 m/s | |
| 協(xié)議* | BiSS C Panasonic | |
| 防護(hù)等級(jí) | IP30 | |
| 分辨率 | BiSS C：分辨率為50 nm,、5 nm和1 nm Panasonic：分辨率為100 nm、5 nm和1 nm | |
| 電子細(xì)分誤差 (SDE) | ±40 nm | |
| 電氣連接 | 柵尺長(zhǎng)度可達(dá)10m（帶散線） | |
| 電源 | 5 V ±10%,，5 V時(shí)zui大為250 mA（端接） | |
| 振動(dòng)（工作） | 55 Hz至2000 Hz時(shí)100 m/s2（zui大值） | |
| 震動(dòng)（非工作） | 1000 m/s2,，6 ms，½正弦 | |
| 工作溫度 | 0 °C至+75 °C |
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