什么是RTLA柵尺？

RTLA是一種輕薄小巧的不銹鋼鋼帶柵尺,，具有30 µm柵距的式柵尺編碼,。精度達(dá)±5 µm/m，長(zhǎng)度zui大達(dá)21米,。有兩種安裝選項(xiàng)可供選擇,，均具有獨(dú)立熱膨脹系數(shù)和鋼帶柵尺的便利性。

RTLA能夠與革命性的FASTRACK™柵尺導(dǎo)軌系統(tǒng)結(jié)合使用,。該系統(tǒng)可快速輕松地安裝導(dǎo)軌,，而無(wú)需固定孔,。移除一次性墊片,，然后將鋼帶送入導(dǎo)軌。

RTLA-S通過(guò)背面自帶的不干膠固定到基體上,。不干膠的作用是確?；w的熱膨脹不會(huì)影響到柵尺。

為了完成安裝,，兩種類型的柵尺都用夾具夾在一個(gè)點(diǎn)上,，從而提供基準(zhǔn)位置。

為什么選擇這種光柵系統(tǒng)？

UHV（超高真空）

RESOLUTE UHV采用雷尼紹革命性創(chuàng)新的式光柵技術(shù),，通過(guò)一個(gè)適合在低達(dá)10 ^-9Torr的超高真空條件下應(yīng)用的讀數(shù)頭充分發(fā)揮其技術(shù)優(yōu)勢(shì),。新的RESOLUTE UHV光柵系列的構(gòu)造有利于進(jìn)行殘余氣體分析 (RGA) 而不會(huì)污染真空環(huán)境，非常適合高性能,、半導(dǎo)體和科研等應(yīng)用領(lǐng)域,。

優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)控制性能

成熟、可靠和創(chuàng)新的工作方法造就了RESOLUTE UHV的業(yè)界的性能,。重要的是,，該系統(tǒng)使用標(biāo)稱柵距為30 µm的單碼道非重復(fù)“條形碼”柵尺格式。RESOLUTE讀數(shù)頭采用*的光學(xué)設(shè)計(jì),，可以捕獲該柵尺的準(zhǔn)瞬時(shí)圖像,，在分析時(shí)，它還能在速度達(dá)到100 m/s時(shí)識(shí)別*位置,。該系統(tǒng)能夠憑借低至1納米（十億分之一米）的分辨率以及低噪聲（抖動(dòng)低于10 nm RMS）和僅為±40 nm的低SDE（電子細(xì)分誤差,，一個(gè)柵尺刻劃周期內(nèi)的誤差）確定位置。該分析提供具有優(yōu)異保真度的光柵反饋,，可確保更穩(wěn)定的速度控制和*的位置穩(wěn)定性,。

寬松的安裝公差

RESOLUTE UHV沒有采用傳統(tǒng)的雙碼道并排（一個(gè)為增量式，另一個(gè)為式）方法,，因?yàn)樵摲椒ㄔ谟猩倭拷嵌葴?zhǔn)直偏差時(shí)會(huì)出現(xiàn)移相這一固有問(wèn)題,。與之不同的是，這種式光柵采用單碼道式柵尺,，將位置和內(nèi)置的相位信息整合為單個(gè)代碼,。該技術(shù)使RESOLUTE UHV具有更寬松的安裝公差（扭擺公差為±0.5°），因此安裝快捷方便,，具有優(yōu)異的*穩(wěn)定性,，即使運(yùn)動(dòng)軸隨著時(shí)間的推移而出現(xiàn)駐留或移動(dòng)時(shí)也是如此。讀數(shù)頭上有一個(gè)內(nèi)置LED安裝指示燈,，用于進(jìn)一步協(xié)助安裝和診斷,。

協(xié)議

BiSS®  Panasonic