超高純氣體純化技術(shù)是有色金屬研究總院“十三五”重點產(chǎn)業(yè)化方向,。在“十二五”期間*項目科研成果基礎(chǔ)上研發(fā)的氣體純化材料，具有處理量大,、去除雜質(zhì)種類多,、吸附深度大、使用壽命長等優(yōu)點,，并以此為核心技術(shù)開發(fā)出多個型號的惰性氣體,、氫氣和氮氣等超高純氣體純化裝置。同時,，有研總院自身具備不斷創(chuàng)新的研發(fā)能力,，成套的純化材料生產(chǎn)、純化器組裝技術(shù),，以及完善的純化器性能測試條件,，可根據(jù)用戶需求設(shè)計完整解決方案、定制非標(biāo)產(chǎn)品,，并提供各項性能檢測服務(wù),，目前產(chǎn)品已應(yīng)用于*理化所、*,、西南化工研究設(shè)計院,、北京師范大學(xué)、北京航空航天大學(xué),、北京科技大學(xué),、國家有色金屬材料檢測中心，哈爾濱師范大學(xué)等單位獲得應(yīng)用,。

UP1L 超高純氣體純化器采用活性金屬為化學(xué)吸附劑,，當(dāng)原料氣通過活性金屬純化床時，氣體中O 2,，H2O,，N2，CO,，CO2,，CH4等雜質(zhì)氣體與活性金屬發(fā)生化學(xué)吸附反應(yīng),，根據(jù)原料氣純度不同，一次純化后出口氣體純度即達(dá)到 7N-8N,，可實現(xiàn)無人值守全自動運行,，并具有實時監(jiān)測、故障報警和反饋等功能,。為保證產(chǎn)品質(zhì)量,，純化器系統(tǒng)管路連接全部采用 Swagelok 全自動軌道焊機焊接，漏率低于 10－9 Pa,；關(guān)鍵部件焊接,、組裝、生產(chǎn)均在千級超凈環(huán)境中進(jìn)射流沖蝕試驗機便于在各種條件下測定的磨損率,。磨損率可 以用來確定在給定操作條件的更佳材料,。它也可以被用來預(yù)測使用壽命和壽命周期成本。

UP系列氣體純化器

委托上海正帆科技公司對 GRINM-UP1L 氬氣純化器性能檢測結(jié)果

部分用于現(xiàn)場照片：

山西中升鋼廠光譜儀配套UP10M使用現(xiàn)場,，分析用氣體純度達(dá)到光譜儀檢測所需的高級的綠色,。

北京科技大學(xué)CVD設(shè)備用的多臺UP1L氬氣純化器

西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氬氣純化器

搭載氫氣純化的電解水制氫 在線純化系統(tǒng)，用于人造鉆石生產(chǎn)高純氫場合

UP1L 超高純氣體純化器產(chǎn)品參數(shù)：

l  原料氣純度要求：≥99.999%,，He/Ar/H2 /N2

l  產(chǎn)品氣純度：≥99.99999%

l  產(chǎn)品氣雜質(zhì)含量：

H2O ≤5ppb

O2 ≤10ppb

N2 ≤10ppb（原料氣非 N2 ）

H2 ≤10ppb（原料氣非 H2 ）

CO ≤10ppb

CO2 ≤10ppb

CH4 ≤10ppb

NMHC ≤10ppb

l  大工作流量：1000sccm

l  內(nèi)置顆粒過濾器：2 微米

l  軟件功能：可顯示多達(dá)7種工作狀態(tài)或故障報警,，并具有壽命計時及提醒功能

l  擴(kuò)展功能：多臺純化器可同一終端批量控制，也可與其他設(shè)備集成使用

l  大工作壓力：1.0MPa

l  進(jìn)出氣接口：1/8″卡套或VCR 接頭

l  純化柱及管路：EP級316不銹鋼

l  電源電壓及功率：220V,，0.8kw

l  產(chǎn)品外形尺寸：170×160×320mm

氣體純化器是集成電路,、LED、太陽能板,、光纖,、燃料電池等制造工藝中*的重要裝備，并可有效提高離子濺射,、薄膜生長,、焊接、配氣等多項技術(shù)的工藝性能,。UP1L 超高純氣體純化器系列主要服務(wù)于各類科研與分析儀器,，如氣相色譜儀、輝光質(zhì)譜儀,、光譜儀,、鍍膜機等,，為其提高高純度載氣或分析氣,，也可用于保證材料氣相沉積生長、磁控濺射鍍膜,、高精度焊接等用氣純度,。