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Samco Internatio RIE反應離子蝕刻機研磨去層拋光反向

參考價 89000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 儀準科技(北京)有限公司
  • 品牌
  • 型號 Samco Internatio
  • 產(chǎn)地 日本
  • 廠商性質 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2018/5/4 11:05:40
  • 訪問次數(shù) 1303

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!


 儀準科技(北京)有限公司是一家專業(yè)提供集成電路失效分析及可靠行測試的服務商

主要服務項目:半導體失效分析設備,元器件失效分析可靠性測試

非破壞性分析
 小型測試機 / 半導體I-V特性曲線儀 / 探針臺 / 顯微鏡觀察分析 / 3D X-Ray / 超聲波掃描顯微鏡 /
破壞性分析
 激光開封 / 手動開封 / 酸自動開封機 / 小型半導體器件銑床 / 微光分析儀 / 光致電分析儀 / 研磨拋光 / 探針臺 / 掃描電子顯微鏡/能譜分析 /
化學處理
 取晶 / 反應離子刻蝕機 / 碼點染色 / 顯微照相 / 電子掃描顯微鏡/能譜分析 /
聚焦離子束
 微線路修改 / 測試鍵生長 / 縱向微切片解剖 / 微區(qū)刻蝕 /
可靠性服務
 預處理 / 冷熱沖擊(TC) / 高壓蒸煮加速實驗(HAST) / HTRB / 老化實驗(Burn in) / 高壓高濕實驗(SPP) /
靜電測試(ESD/HBM/MM)
 CDM / Latch up / HBM / MM /
可焊性測試
 沾濕天平(Wet Balance) / 錫須實驗(Whisker) /
研磨/拋光等耗材銷售
 Allied / ProbeTips /

探針臺probe,,開封機laser decap,,紅外顯微鏡,微光顯微鏡EMMI,,IV自動曲線量測儀

RIE反應離子蝕刻機研磨去層拋光反向失效分析

   

  Samco International是始于1979年的等離子蝕刻與沉積系統(tǒng)制造商,;日本zui大的客制Plasma和Deposition設備供應商;日本京都,、美國硅谷,、英國劍橋、中國上海,、中國臺灣和東南亞都有我們的設備和服務支持,。Samco International為混合半導體、MEMS(微機電系統(tǒng)),、光電,、失效分析以及其他市場制造各種各樣的系統(tǒng)。我們的產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)以系統(tǒng)占地面積zui小、性價比zui低著稱,,且生產(chǎn)可靠性久經(jīng)考驗,。從整套生產(chǎn)需要工具、到簡單的實驗室系統(tǒng),,Samco International均有提供,。
    反應性離子蝕刻,簡稱為RIE,,RIE反應離子蝕刻機研磨去層拋光反向失效分析,,zui為各種反應器廣泛使用的方法,便是結合(1)物理性的離子轟擊與(2)化學反應的蝕刻,。此鐘方式兼具非等向性與高蝕刻選擇比等雙重優(yōu)點,,蝕刻的進行主要靠化學反應來達成,以獲得高選擇比,。加入離子轟擊的作用有二:一是將被蝕刻材質表面的原子鍵結破壞,,以加速反應速率。二是將再沉積于被蝕刻表面的產(chǎn)物或聚合物(polymer)打掉,,以使被蝕刻表面能再與蝕刻氣體接觸,。
 RIE-10NR反應離子蝕刻設備特點:
       1. 高選擇性各向異性腐蝕,符合苛刻的制程要求,;
       2. 全自動"一鍵"操作*代替手動操作,;
       3. 易于使用的電腦觸摸屏的參數(shù)控制和配方輸入和存儲;
       4. 晶圓尺寸達8"英寸直徑,,圓滑,、緊湊的設計使用zui少的潔凈室空間;
       5. RIE-10NR設計用于蝕刻氮化物,、氧化物和任意需要氟基化學的薄膜或基片,。其安裝在節(jié)省空間的平臺上的模塊化設計,使其成為*許多用戶的shou選系統(tǒng),;
       6. 高級選項:ICP(電感耦合等離子),、渦淪泵、帶背側氦冷卻系統(tǒng)和端點檢測系統(tǒng)的靜電吸盤等,;
       7. 業(yè)已全面開發(fā)出各種工藝,,用于對使用氟基化學的材料進行各向同性和各向異性蝕刻,其中包括:碳,、環(huán)氧樹脂,、石墨、銦,、鉬,、氮氧化物,、光阻劑、聚酰亞胺,、石英,、硅、氧化物,、氮化物,、鉭、氮化鉭,、氮化鈦,、鎢鈦以及鎢。RIE反應離子蝕刻機研磨去層拋光反向失效分析

 

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