歐洲進口 精密拋光機

歐洲進口 精密拋光機

精密拋光機介紹：

1. GNAD61 精密研磨拋光機,，主機及所有的零備件均采用高防腐蝕材料，整機防腐,，適用于硅等多種半導體材料的化學機械研磨拋光,。設備可加工樣品尺寸范圍為４英寸以下樣片。

2. GNAD61 設備設有一個工作站,，可加工一片４英寸的樣品及若干小于 4英寸的不同形狀及尺寸的樣片,。設備夾具具有１００％范圍擺動的功能。這一功能設計,，可以保證設備在研磨拋光過程中,，實現(xiàn)樣品的全擺動拋光，大大提升了設備的拋光產(chǎn)能及效率,，同時也避免了拋光時間過長造成的樣片塌邊現(xiàn)象,。

3. GNAD61 設備主機配有真空系統(tǒng)和自動填料系統(tǒng)等相關組件。真空系統(tǒng),，包括真空泵,，過濾系統(tǒng)及相關連接組件。真空系統(tǒng)通過抽真空的方式將樣品直接吸附在樣品固定裝置底面,。根據(jù)不同工藝要求,，真空系統(tǒng)可以直接吸附樣品或者直接吸附貼有樣品的玻璃基板。GNAD61 設備隨主機標配的玻璃基板采用高質(zhì)量浮法玻璃,，經(jīng)過精密的研磨工藝使基本實現(xiàn)高平整度,，ＴＴＶ≤２ｕｍ．真空系統(tǒng)搭載的過濾裝置，可以有效的過濾磨拋過程中產(chǎn)生的廢料液,，以避免廢液被吸入真空泵造成故障,。

Gnad 61 優(yōu)勢

精密拋光設備通過超細拋光液對半導體材料進行拋光,，實現(xiàn)平整度，粗糙度等高指標技術要求,。

設備所有的功能,，由控制面板按鍵來控制，每一控制參數(shù),，均有獨立的按鍵控制,，便于售后的維修服務，可以控制成本,。

研磨拋光盤運行由主驅(qū)動部分控制,，盤的轉速變化可從每分鐘0轉到每分鐘100轉，從而保證了不同工藝要求的參數(shù),。

控制面板上定時控制,，能夠設定連續(xù)運轉多至10個小時，給操作者以zui大的自由操控性,。

在設備的側面,，設計有除液口，用于廢液的導出,，使得整個工藝過程變得簡單快潔,。