非接觸式測厚儀介紹：

是一款高性能高精密的測量儀器,，可以不接觸樣品表面進(jìn)行厚度測量,。這種方式可以避免接觸測量引起的表面損傷，特別適用于軟脆材料及對樣品表面質(zhì)量高要求的測量.該儀器能非常理想的用于半導(dǎo)體,、光學(xué)及電光材料厚度的測量應(yīng)用,。

測量范圍：10毫米

滿量程精度：1微米

測量臂帶細(xì)調(diào)功能
測量范圍0-180mm
總高280mm
重量 8 kg

適用范圍：

適用于晶圓厚度的在線測量。也適用于各種玻璃瓶,、玻璃 杯,、燈  泡、燈管的壁厚的在線或靜態(tài)測量,。

功能：

在線實時測量監(jiān)控,、數(shù)字顯示
設(shè)備原理：

采用無污染氣脈沖測量法，通過氣脈沖,，在晶圓表面形成均勻氣膜,，對被測物進(jìn)行非接觸、無損傷厚度測量,，采樣速度快精度高,，性能穩(wěn)定，操作簡單,。