晟鼎-小型真空等離子清洗機(jī) 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用,，會產(chǎn)生刻蝕作用,，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼,，增大了樣品的比表面,。提高固體表面的潤濕性能。晟鼎真空等離子清洗機(jī) 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用

（1）達(dá)因特真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品簡述

（1.1）等離子清洗的作用

等離子清洗的作用原理主要是：

（A）對材料表面的刻蝕作用--物理作用

等離子體中的大量離子,、激發(fā)態(tài)分子,、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面,，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙,，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面,。提高固體表面的潤濕性能,。

（B）激活鍵能，交聯(lián)作用

等離子體中的粒子能量在0~20eV,，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用

如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,，那么在活化的材料表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),，引入新的官能團(tuán)，如烴基,、氨基,、羧基等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán),，能明顯提高材料表面活性,。

（1.2）小型真空等離子清洗機(jī)清洗的優(yōu)勢

等離子清洗作為重要的材料表面改性方法，已經(jīng)在眾多領(lǐng)域廣泛使用,。晟鼎真空等離子清洗機(jī) 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用