基于PID處理控制器的Eurotherm可以存儲20套程序,，每套程序可以支持高達100個步驟的設(shè)定,，帶USB2.0的接口。
包含UniSoft 軟件,，與微軟Windows操作系統(tǒng)兼容,。通過該軟件,，通過鏈接電腦可以非常方便地實現(xiàn)程序編輯以及數(shù)據(jù)記錄。
Semco的退火爐主要包含如下三款型號：
1）JetLight
基片從前面載入/取出,；
腔體尺寸：直徑50mm×深度150mm,；
zui高溫度高達1100攝氏度；
升溫速率為150K/sec,；
降溫速率分段控制：從1100℃到400℃,，降溫速率優(yōu)于200K/sec。
從400℃到100℃zui大降溫速率控制在30K/sec,；
2）JetFirst
基片從前面載入/取出,；
zui大可支持的尺寸：直徑200mm基片；
zui高溫度高達1000攝氏度,；
升溫速率為75K/sec,；
降溫速率分段控制：從1000℃到400℃，降溫速率優(yōu)于200K/sec,。從400℃到100℃zui大降溫速率控制在30K/sec,；
3）JetStar
也可以用于污染物處理；
基片從上面載入/取出,；
zui大可支持的尺寸：直徑為300mm的Wafer或者300mm×300mm的基片,；
zui高溫度高達1000攝氏度；
升溫速率為40K/sec,；
降溫速率分段控制：從1000℃到400℃,，降溫速率優(yōu)于200K/sec。從400℃到100℃zui大降溫速率控制在30K/sec,；