經(jīng)典款膜厚儀CMI900射線源參數(shù)介紹：

空冷式微聚焦型X射線管,，Be窗

標(biāo)準(zhǔn)靶材：Rh靶；任選靶材：W,、Mo,、Ag等

功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)

裝備有安全防射線光閘

二次X射線濾光片：3個(gè)位置程控交換,，多種材質(zhì),、多種厚度的二次濾光片任選

準(zhǔn)直器系統(tǒng)

單準(zhǔn)直器組件

多準(zhǔn)直器自動(dòng)控制組件：zui多可同時(shí)裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器

經(jīng)典款膜厚儀CMI900多種規(guī)格尺寸準(zhǔn)直器任選：

－圓形，如4,、6,、 8、 12,、13,、20 mil等

即0.102、0.152,、0.203,、0.305、0.330,、0.508mm

－矩形,，如1x2、2x2,、0.5x10,、1x10、2x10,、4x16mil等

即0.025*0.05,、0.05*0.05、0.013*0.254,、0.025*0.254,、0.051*0.254、0.102*0.406mm

測(cè)量斑點(diǎn)尺寸

在12.7mm聚焦距離時(shí),，zui小測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>準(zhǔn)直器)

在12.7mm聚焦距離時(shí),，zui大測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm<即圓形12mil>準(zhǔn)直器)

樣品室

開(kāi)槽式樣品室

經(jīng)典款膜厚儀CMI900樣品臺(tái)尺寸：

zui大610mm x 610mm

XY軸移動(dòng)范圍

標(biāo)準(zhǔn)：152.4 x 177.8mm<程控> 

Z軸程控移動(dòng)高度

43.18mm

XYZ軸控制方式

多種控制方式任選：

XYZ三軸程序控制；

XY軸手動(dòng)控制和Z軸程序控制,；

XYZ三軸手動(dòng)控制

樣品觀察系統(tǒng)

高分辨彩色CCD觀察系統(tǒng),，標(biāo)準(zhǔn)放大倍數(shù)為30倍。

50倍和100倍觀察系統(tǒng)任選,。

激光自動(dòng)對(duì)焦功能

可變焦距控制功能和固定焦距控制功能

計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配置

IBM計(jì)算機(jī)

惠普或愛(ài)普生彩色噴墨打印機(jī)

分析應(yīng)用軟件

操作系統(tǒng)：Windows XP中文平臺(tái)

分析軟件包：SmartLink FP軟件包

測(cè)厚范圍

可測(cè)定厚度范圍：取決于您的具體應(yīng)用,。

基本分析功能

采用基本參數(shù)法校正。牛津儀器將根據(jù)您的應(yīng)用提供必要的校正用標(biāo)準(zhǔn)樣品,；

樣品種類(lèi)：鍍層,；