FISCHERSCOPE X-RAY XDL210菲希爾X射線測(cè)厚儀核心技術(shù)與性能

測(cè)量原理：運(yùn)用 X 射線熒光光譜法,，實(shí)現(xiàn)對(duì)鍍層厚度的精準(zhǔn)測(cè)量，采用無(wú)損檢測(cè)方式,，具備自動(dòng)聚焦功能,，可保障樣品完整性與測(cè)量準(zhǔn)確性。

元素測(cè)量范圍：涵蓋 Cl（17）-U（92），最多可同時(shí)測(cè)量 24 種元素,、23 層鍍層,。

硬件性能：

 X/Y 平臺(tái)：移動(dòng)范圍≥95x150mm，可用工作臺(tái)面≥420x450mm,，能滿足多樣品放置與測(cè)量需求,。

電動(dòng) Z 軸：支持手動(dòng) / 自動(dòng)聚焦，移動(dòng)范圍≥140mm,，可適配不同高度樣品,。

DCM 技術(shù)：采用測(cè)量距離補(bǔ)償法（DCM），可實(shí)現(xiàn) 80mm 深度的腔體樣品遠(yuǎn)距離對(duì)焦測(cè)量,。

高壓調(diào)節(jié)：可變高壓支持 30KV,、40KV、50KV 三檔調(diào)節(jié),，可靈活應(yīng)對(duì)不同測(cè)試場(chǎng)景,。

準(zhǔn)直器：配備 φ0.3 的圓形準(zhǔn)直器，可提升測(cè)量精度,，還有 φ0.1mm,、φ0.2mm 及長(zhǎng)方形 0.3mmx0.05mm 等可選準(zhǔn)直器。

X 射線探測(cè)器：采用比例接收器,，確保信號(hào)穩(wěn)定接收,。

攝像頭：高分辨率 CCD 攝像頭，放大倍數(shù) 40 - 160 倍,，便于樣品觀察定位,，沿初級(jí) X 射線光束方向觀察測(cè)量位置，有手動(dòng)聚焦,、十字線（帶有經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的刻度和測(cè)量點(diǎn)尺寸）,、可調(diào)節(jié)亮度的 LED 照明，激光光點(diǎn)用于準(zhǔn)確定位樣品,。

軟件與數(shù)據(jù)處理

操作系統(tǒng)與軟件：基于 Windows 7 以上中文操作界面,，搭載 WinFTM 專業(yè)測(cè)試軟件，配備連接 PC 和打印機(jī)的 USB 接口,。

統(tǒng)計(jì)計(jì)算功能：數(shù)據(jù)組集成時(shí)間和日期功能,，具備平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差,、最大值,、最小值等統(tǒng)計(jì)計(jì)算；支持公差范圍輸入,，可計(jì)算 CP 和 Cpk 值,，超范圍自動(dòng)報(bào)警提示。

校準(zhǔn)與判定：采用基本參數(shù)法，內(nèi)置 12 純?cè)仡l譜庫(kù),，實(shí)現(xiàn)無(wú)標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)測(cè)量,；具備 MQ 值顯示，用于判斷測(cè)量程式與樣品匹配度,，防止誤操作,。

標(biāo)準(zhǔn)片：配備 12 種基準(zhǔn)純?cè)兀ˋg, Cu, Fe, Ni, Zn, Zr, Mo, Sn, W, Au, Pb, Cr）標(biāo)準(zhǔn)片。