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徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易有限公司

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MX61A大尺寸智能型全自動(dòng)顯微鏡

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 上海西努光學(xué)科技有限公司
  • 品牌 OLYMPUS/奧林巴斯
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/3/12 21:28:26
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 1305

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西努光學(xué)創(chuàng)建于2003 年,主營(yíng)工業(yè)顯微鏡及制樣設(shè)備,、鏡片測(cè)定設(shè)備,,高速攝像系統(tǒng)、工業(yè)內(nèi)窺鏡,、機(jī)器視覺(jué)等工業(yè)及科研應(yīng)用的檢測(cè)設(shè)備及系統(tǒng)集成,。
西努光學(xué)秉承“以光學(xué)為核心,,為客戶(hù)提供解決方案”的經(jīng)驗(yàn)思路,經(jīng)過(guò)16年的努力,,成為眾多企業(yè),、高校科研單位提供各種專(zhuān)業(yè)化的光學(xué)系統(tǒng)解決方案,。并于2012 年導(dǎo)入SAP 管理系統(tǒng),,通過(guò)系統(tǒng)資源整合,為客戶(hù)提供更優(yōu)質(zhì),、快捷的專(zhuān)業(yè)化服務(wù),。
2016 年,我們積極引進(jìn)檢測(cè)設(shè)備的同時(shí)導(dǎo)入制樣等配套設(shè)備以豐富我們實(shí)驗(yàn)室平臺(tái),,以更好的為客戶(hù)提供現(xiàn)場(chǎng)體驗(yàn),,從微米到納米滿(mǎn)足客戶(hù)從制樣到結(jié)果分析的一站式體驗(yàn)服務(wù)。



奧林巴斯顯微鏡,奧林巴斯工業(yè)內(nèi)窺鏡,iX高速攝像機(jī),標(biāo)樂(lè)金相制樣設(shè)備,威爾遜硬度計(jì),navitar鏡頭,日立掃描電鏡,加拿大WDI光學(xué)設(shè)備

MX61A大尺寸智能型全自動(dòng)顯微鏡詳細(xì)介紹:

始終提供*觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)
強(qiáng)大的缺陷檢查能力

采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)(UIS2),,特別增強(qiáng)了明視場(chǎng),、暗視場(chǎng)的性能,從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力,。明視場(chǎng)圖像的色溫*化,,實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn),暗視場(chǎng)圖像的亮度約提高了四倍(與本公司原有產(chǎn)品比較),。
觀察影像實(shí)例


明視場(chǎng)觀察

新暗視場(chǎng)觀察

傳統(tǒng)的暗視場(chǎng)觀察

自動(dòng)調(diào)節(jié)*亮度


亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖
物鏡選擇和觀察方法切換連動(dòng),,自動(dòng)地調(diào)節(jié)亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞,。

對(duì)應(yīng)各種設(shè)備的實(shí)時(shí)AF


深紫外線(xiàn)觀察用物鏡
MX61A裝載了在對(duì)焦精度,、對(duì)焦速度上性能*的動(dòng)態(tài)AF。新開(kāi)發(fā)的多點(diǎn)方式的傳感器的采用,,大幅度的提高了對(duì)焦時(shí)的穩(wěn)定性,。在可視、深紫外線(xiàn)的反射光觀察中,,實(shí)現(xiàn)了追蹤觀察位置的實(shí)時(shí)對(duì)焦,。

對(duì)應(yīng)多種觀察方法


物鏡UIS2系列產(chǎn)品
在深紫外線(xiàn)到可視、近紅外線(xiàn)觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品,,與各種觀察單元組合,,可以在一臺(tái)顯微鏡上進(jìn)行明視場(chǎng)、暗視場(chǎng),、微分干涉,、熒光、近紅外線(xiàn),、深紫外線(xiàn)等觀察,。
觀察方法的切換非常簡(jiǎn)單,,只要從明視場(chǎng)、暗視場(chǎng),、選件鏡子單元三個(gè)位置選擇就可以,。

觀察影像實(shí)例


明視場(chǎng)觀察

暗視場(chǎng)觀察

微分干涉觀察

熒光觀察

近紅外線(xiàn)觀察(左)和可見(jiàn)
光線(xiàn)觀察(右)的比較
 

提供擴(kuò)展性的解決方案 提供擴(kuò)展性的解決方案


適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine(分
析引擎)模塊
 
MX61A大尺寸智能型全自動(dòng)顯微鏡"顯微鏡控制軟件"作為核心對(duì)MX61A系統(tǒng)全體進(jìn)行控制。這個(gè)應(yīng)用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡,,還能控制數(shù)碼照相機(jī),、電動(dòng)載物臺(tái)等外圍設(shè)備。一直以來(lái),,必需進(jìn)行若干個(gè)操作才能實(shí)現(xiàn)的高級(jí)觀察方法,、深紫外線(xiàn)觀察等的切換,只要一次點(diǎn)擊就能順利完成,。該軟件進(jìn)一步拓展了MX61A的擴(kuò)張性,,滿(mǎn)足了不斷變化的分析需求。

顯微鏡控制軟件 MX2-BSW


顯微鏡控制軟件顯示畫(huà)面
顯微鏡控制軟件MX2-BSW不僅能進(jìn)行各種顯微鏡控制和AF,,還能綜合控制深紫外線(xiàn)觀察單元和電動(dòng)載物臺(tái)*1等,。對(duì)于數(shù)碼照相機(jī)*2,能夠控制它的觀察和記錄,。觀看實(shí)況影像時(shí)單擊需觀察的地方,,快速移動(dòng)到視場(chǎng)中心、實(shí)況計(jì)量和檢測(cè),、影像記錄等一系列作業(yè)就能容易的得以實(shí)現(xiàn),。
*1對(duì)應(yīng)本公司*的電動(dòng)載物臺(tái)
*2對(duì)應(yīng)奧林巴斯DP21或本公司*的IEEE1394數(shù)碼照相機(jī)
 

實(shí)現(xiàn)對(duì)人和環(huán)境都沒(méi)有危害的自動(dòng)化
符合SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)

符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)S2-0706(有關(guān)安全的基準(zhǔn)),S8-0705(有關(guān)人體工程學(xué)的基準(zhǔn))和CE標(biāo)識(shí)(歐洲強(qiáng)制性認(rèn)證)等的標(biāo)準(zhǔn),。符合人體工程學(xué)和安全對(duì)策等,高水準(zhǔn)的確保了可靠性,。
可選的傾斜觀察筒


傾斜觀察筒示意圖
備有2種能以舒適姿勢(shì)觀察的傾斜鏡筒,。可以根據(jù)用途選擇雙目部?jī)A斜角度由水平0°到42°的,、變化范圍大的MX-SWETTR型號(hào),,或是目視和拍攝影像可同時(shí)觀察的U-SWETTR-5型號(hào)。

潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器


潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
備有兩種堅(jiān)固耐用的潔凈型電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器,。
6孔和5孔中心補(bǔ)正型號(hào)的明暗視場(chǎng)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器,,采用了新型馬達(dá),實(shí)現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換,。

高抗振本體


高倍率觀察圖像示意圖
采用了不易受振動(dòng)影響的高度剛性?xún)x器機(jī)架,。即便是高倍率觀察,也不會(huì)出現(xiàn)影像模糊的情況,。

可以觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān)


手控開(kāi)關(guān)操作部
配備了觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān),,可以在檢查時(shí)執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作,。只要選擇觀察方法,就能得到基于登錄條件的zui合適的觀察影像,。自動(dòng)對(duì)焦的追蹤,、單次拍攝的切換、對(duì)焦的細(xì)微調(diào)節(jié),、DIC延遲調(diào)節(jié),、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時(shí)的載物臺(tái)退出均可以執(zhí)行。

幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件 晶圓搬送機(jī)組合


晶圓搬送機(jī)
可以對(duì)應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓,。新型搬送手臂的采用,,實(shí)現(xiàn)了對(duì)90 μm極薄晶圓的搬送,能滿(mǎn)足多種尺寸晶圓搬送的需求,。

自動(dòng)載物臺(tái)組合


自動(dòng)載物臺(tái)
備有對(duì)應(yīng)300mm/200mm晶圓的高精度電動(dòng)載物臺(tái),。通過(guò)PC控制,可以實(shí)現(xiàn)高級(jí)檢查,、不良分析功能,。
  規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng)UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正)
機(jī)身觀察方法明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光
反射/透射反射
照明裝置機(jī)身一體型(明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)+1選件)
照明系統(tǒng)反射照明100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明-
對(duì)焦單元電動(dòng)/手動(dòng)電動(dòng)
行程25.4 mm
分辨率/微調(diào)靈敏度分辨率0.01 μm
zui大樣本高度24 mm
物鏡轉(zhuǎn)換器電動(dòng)型明視場(chǎng)微分干涉6孔
明暗視場(chǎng)微分干涉5孔
明暗視場(chǎng)微分干涉6孔
明暗視場(chǎng)微分干涉中心補(bǔ)正5孔
手動(dòng)式-
載物臺(tái)行程14×12英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm 
8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm
觀察筒廣角視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)22)倒置-
正像-
超寬視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)26.5)倒置-
正像傾斜三目觀察筒
附件單元自動(dòng)調(diào)焦/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載
外形尺寸711(W)×853(D)×552(H)mm(標(biāo)準(zhǔn)組合)
重量56 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合)



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