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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>集成電路測試與分選設備>探針臺>VM系列 探針臺系統(tǒng)

VM系列 探針臺系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,,謝謝!


探針臺系統(tǒng),,探針座,探針夾具,,探針臺系統(tǒng)配件,半導體設備維修和定制服務

產品應用:

DC,、RF、mmW測試,;

納米級電子器件測試、微機電測試,;

超導測試。

產品特點:

80k-573k溫度范圍,,可擴展至4k-1073k,。

載物臺內部液氮浸潤式結構,快速降溫,,液氮使用量更少,,節(jié)約耗材成本,。

高真空不銹鋼真空腔體(配套分子泵組可達10-6mbar)。

低溫測試時真空腔體體內無凝露,、結霜。

紅外截止玻璃觀察窗,,提升測試腔內部溫度穩(wěn)定性。

4探針點測系統(tǒng),,zui多可定制8探針點測系統(tǒng)。

配套同軸或三軸電纜可應用于高精度的DC測試,。

配套微波測試套件可應用于DC-67GHz的RF測試或頻率更高的mmW測試。

技術指標

載物臺

 

尺寸

4"(2",、6",、8"方案可選

材質

金銅

表面處理

可選純金鍍層或沉鎳鍍層

平整度

<50µm@300

 

 

載物臺移動基座(可選項)

 

X-Y軸行程范圍

4"*4",,根據載物臺尺寸可選更大行程,,電動控制系統(tǒng)可選

精度

1μm

R軸微調角度范圍

±9°

R軸微調精度

0.0001°/deg

Z軸細調行程范圍

13mm

細調精度

1μm

Z軸快升行程

350μm

Z軸往復精度

<1μm

 

溫度控制系統(tǒng)

 

溫度范圍

80k-573k

溫度精度

0.1

溫控精度

溫控精度0.1℃,連續(xù)變溫無節(jié)點,。

溫度均勻性

0.1℃@4(100mm)載物臺。

加熱方式

電阻加熱

制冷方式

液氮制冷

瓦罐容量

80L自增壓液氮杜瓦罐

冷劑消耗量

15L液態(tài)氮(室溫降至80k

溫度擴展范圍

4k-1073k

 

 

 

空系統(tǒng)

 

空度

10-3mbar*(可配套分子泵組,達到更高的真空度10-6mbar)

空泵

旋片式雙級油封真空泵,,可升級渦輪分子泵組

抽速

16m3/h

抽真空時間

5min(10-3mbar)

真空焊接波紋

三維彎曲大于25mm(定制參數(shù)

法蘭

KF(更高真空度要求則使用CF)

 

真空腔體

 

體材質

不銹

觀察舷窗

紅外截止玻璃**

空泵接口法蘭

KF25

氮接口法蘭

KF25

 

技術指標

 

測系統(tǒng)

 

針座數(shù)量

4個(zui多8個,可根據定制

針夾具

4個(zui多8個,,可根據需求定制

位精度

5μm(可根據需求定制

X-Y-Z軸移動行程

25mm*25mm*25mm(可根據需求定制

 

光學系統(tǒng)(體視顯微鏡)

 

光學放大倍數(shù)

15X-100X

焦倍率

0.75X-5X(變倍比6X)

CCD

1/3”數(shù)字CCD,,1920X1024像素,,30ftps,USB2.0接

顯微鏡旋臂

兩段式顯微鏡支架,,可快速移動定位顯微鏡

 

光學系統(tǒng)(單筒顯微鏡)

 

光學放大倍數(shù)

400X(21英寸顯示器)

焦倍率

0.58X-7X(變倍比12X,,超大變倍范圍)

CCD

1/3”數(shù)字CCD,1920X1024像素,,30ftps,USB2.0接

顯微鏡旋臂

兩段式顯微鏡支架,,可快速移動定位顯微鏡

 

顯微鏡移動基座(可選項)

 

X-Y軸行程范圍

2"*2",,根據載物臺尺寸可選更大行程,電動控制系統(tǒng)可選

精度

1μm

 

防震臺

 

隔震方式

氣囊式防震臺

固有頻率

1.2Hz(水平),,1.5Hz(水平)

樣品振動

<300nm(真空泵工作時

*低溫測試時真空腔體內無凝露或結霜,。

**紅外截止玻璃:過濾紅外光,防止紅外光進入真空腔體內使腔體內部升溫,,提升載物臺溫度穩(wěn)定性,。

***77k為液氮溫度,,實際操作中,,由于載物臺熱傳導損耗的存在,無法達到77k,。根據液氮循環(huán)的時間而定,,實際zui低溫度不會低于85k,。

特別提示

1. “產品應用示例”欄目下的圖示是為方便客戶理解產品應用而拍攝的產品應用示意圖片,實際銷售的商品配置,,請您參考“產品配置說明”或咨詢我司客服人員,。

2. 若我司的客服人員無法及時答復您的問題,,請麻煩您致電深圳市展芯科技有限公司,:,,我們將在zui短的時間內響應您的需求,。

品牌簡介-PRCBE

展芯科技是一家專業(yè)的探針臺系統(tǒng)研發(fā)和生產商,,致力于為用戶提供中國(PRC)精準(Precise)、可靠(Reliable)和高性價比(Cost-effective)的探針臺系統(tǒng),。        

依托于自有的芯片失效分析實驗室,展芯科技得以根據zui前端的測試需求不斷地研發(fā)改進,,以滿足用戶日新月異的測試需求,。同時,芯片失效分析實驗室也為展芯的提供了理論實際的測試平臺,,芯片分析實驗室用戶在使用的同時,也給我司產品提供了寶貴的改進建議,。       

經過10年的發(fā)展和積累,展芯已在的應用技術領域取得了的成績,,可針對用戶不同的測試需求定制解決方案,,如微弱電流測試(1fA)、RF 和mmW測試(THz)、高功率測試(100A,,10kV)、真空高低溫測試(-196℃~800℃),、光電測試等等,。

憑借著PRC的產品,,展芯贏得了半導體行業(yè)內科研機構和公司的信任和尊重,建立了*的合作關系,。展芯的已在國內外的科研院所,、學校和公司中獲得廣泛的使用,,如中科院、廣州五所(賽寶實驗室),、北京自動化設備研究所,、電子科技大學、西安電子科技大學,、清華大學、北京大學,、復旦大學,、香港大學,、香港科技大學、香港城市大學,、華為,、中興、比亞迪,、富士康等等。        

感謝您對展芯的關注,,相信我們PRC的產品定能讓您在集成電路 (IC),、電路板,、光學器件,、MEMS,、3D TSV,、LCD等*半導體器件的精密電氣測量及測試中獲得精準可靠的測試數(shù)據。

售后服務

2年質量保修期

除探針耗材外,,展芯科技銷售的產品質量保證期為貨物簽收之日起2年,,在此期間若合同標的物出現(xiàn)質量問題,均由展芯負責維修或替換,,但以下情況除外:1. 自然原因導致的產品質量衰退,、精度下降,;2. 人為或不可抗拒的自然現(xiàn)象而發(fā)生的損壞;3. 用戶擅自進行的拆解,、改裝,、功能附加或減除導致的損壞,;4. 用戶自行或經第三方維修導致的損壞。

免費終身維護

除探針耗材外,,展芯科技銷售的產品均可享受免費終身維護服務,。



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