Logitech PM5 精密研磨拋光系統(tǒng)
- 公司名稱 北京華沛智同科技發(fā)展有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Logitech PM5
- 產(chǎn)地 英國
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/12/5 13:54:53
- 訪問次數(shù) 11523
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Logitech PM5精密研磨拋光系統(tǒng)是帶有一個工作站的臺式機,,適用于科學研究水平的研磨和拋光,能夠完成4英寸及以下尺寸樣品的小批量處理,。
具有加工樣品*性高,、規(guī)格水平高,、表面光潔等特點。
精密研磨拋光系統(tǒng)特點:
1,、完善的控制系統(tǒng)
在半導體,、光電、光學以及地質等應用領域,,Logitech PM5是值得信賴的選擇,,典型的應用包括:晶片背減、光纖及波導器件制備,、激光棒拋光,、MEMS等。無論是對何種高質量表面平整度控制的需求,,PM5均能給予用戶滿意的處理效果,。
研磨/拋光的所有功能,包括盤轉速,、擺臂設定,、滴料速度,均顯示在操作控制顯示屏,,通過操縱桿對操作控制顯示屏的參數(shù)進行設定,。
2、自動化功能增強
機器運行內置計時器,,在無人看管時可以設定計時器,,計時器時間設定范圍0-10小時,在處理材料完成時機器自動停止(拋光狀態(tài)下報警不停機),,控制系統(tǒng)向操作員發(fā)出蜂鳴提醒,。
為了進一步提高易用性,Logitech PM5部分配備真空管道,,以聯(lián)通真空裝置,,VS2真空系統(tǒng)單元獨立放置,在提供真空系統(tǒng)同時具有過濾防污染的功能,??梢钥吹?/span>,Logitech的全套備件配置使用為用戶帶來了足夠大的加工靈活性,。
Logitech PM5夾具具有在線監(jiān)測功能,,可實時顯示樣品處理的去除量,監(jiān)測精度1um,;為適應各種大小尺寸的樣品處理,夾具對晶片作用壓力可以連續(xù)調節(jié),,通過增加夾具壓力塊,,壓力調節(jié)范圍zui大可達0.1 - 7Kg,;夾具zui大處理樣品尺寸4英寸。
3,、直觀的操作控制系統(tǒng)
快速,、高效的研磨/拋光盤,便于拆卸,,方便用戶在不同的研磨過程之間的快速轉換,,以及研磨和拋光工藝的變換。這種靈活性使PM5成為實驗室空間有限的情況下的首要選擇,。
Logitech PM5具有耐化學腐蝕的配置,,適合在腐蝕性物質環(huán)境中使用,如砷化鎵拋光中常常使用的Chemlox拋光液,。耐腐蝕的設計保障了系統(tǒng)在酸堿工作環(huán)境中運行,。
4、精準的滴料系統(tǒng)
磨料自動填料系統(tǒng)通過一個可調導料槽,,確保精準的控制料液流從料桶滴入研磨盤或拋光盤,。滴料的控制設計,具有很高的經(jīng)濟性,,特別適合多樣化研究使用,。
此外,可拆卸的料液托盤導出廢料,,使其流入廢料桶,,從而保障設備安全穩(wěn)定的長時間持續(xù)運行,同時減輕設備的清理工作,。
5,、完整的參數(shù)控制,確保結果*
研磨/拋光的工藝過程中,,盤的表面情況會在一定程度上反饋在樣品表面,,通過控制研磨盤的盤面型從而提高樣品平整度;通過保持拋光盤的表面狀態(tài)從而提高樣品表面質量,。
為獲得*結果,,設備往復運動的速度和擺幅可以精確的控制樣品處理效果,從而提高了結果的高重復性和高*性,。
技術規(guī)格: