Logitech PM5精密研磨拋光系統(tǒng)是帶有一個工作站的臺式機,，適用于科學研究水平的研磨和拋光，能夠完成4英寸及以下尺寸樣品的小批量處理,。

具有加工樣品*性高,、規(guī)格水平高,、表面光潔等特點。

精密研磨拋光系統(tǒng)特點：

1,、完善的控制系統(tǒng)

在半導體,、光電、光學以及地質等應用領域,，Logitech PM5是值得信賴的選擇,，典型的應用包括：晶片背減、光纖及波導器件制備,、激光棒拋光,、MEMS等。無論是對何種高質量表面平整度控制的需求,，PM5均能給予用戶滿意的處理效果,。

研磨/拋光的所有功能，包括盤轉速,、擺臂設定,、滴料速度，均顯示在操作控制顯示屏,，通過操縱桿對操作控制顯示屏的參數(shù)進行設定,。

2、自動化功能增強

機器運行內置計時器,，在無人看管時可以設定計時器,，計時器時間設定范圍0-10小時，在處理材料完成時機器自動停止（拋光狀態(tài)下報警不停機）,，控制系統(tǒng)向操作員發(fā)出蜂鳴提醒,。

為了進一步提高易用性，Logitech PM5部分配備真空管道,，以聯(lián)通真空裝置,，VS2真空系統(tǒng)單元獨立放置，在提供真空系統(tǒng)同時具有過濾防污染的功能,?？梢钥吹?/span>，Logitech的全套備件配置使用為用戶帶來了足夠大的加工靈活性,。

Logitech PM5夾具具有在線監(jiān)測功能,，可實時顯示樣品處理的去除量，監(jiān)測精度1um,；為適應各種大小尺寸的樣品處理，夾具對晶片作用壓力可以連續(xù)調節(jié),，通過增加夾具壓力塊,，壓力調節(jié)范圍zui大可達0.1 - 7Kg,；夾具zui大處理樣品尺寸4英寸。

3,、直觀的操作控制系統(tǒng)

快速,、高效的研磨/拋光盤，便于拆卸,，方便用戶在不同的研磨過程之間的快速轉換,，以及研磨和拋光工藝的變換。這種靈活性使PM5成為實驗室空間有限的情況下的首要選擇,。

Logitech PM5具有耐化學腐蝕的配置,，適合在腐蝕性物質環(huán)境中使用，如砷化鎵拋光中常常使用的Chemlox拋光液,。耐腐蝕的設計保障了系統(tǒng)在酸堿工作環(huán)境中運行,。

4、精準的滴料系統(tǒng)

磨料自動填料系統(tǒng)通過一個可調導料槽,，確保精準的控制料液流從料桶滴入研磨盤或拋光盤,。滴料的控制設計，具有很高的經(jīng)濟性,，特別適合多樣化研究使用,。

此外，可拆卸的料液托盤導出廢料,，使其流入廢料桶,，從而保障設備安全穩(wěn)定的長時間持續(xù)運行，同時減輕設備的清理工作,。

5,、完整的參數(shù)控制，確保結果*

研磨/拋光的工藝過程中,，盤的表面情況會在一定程度上反饋在樣品表面,，通過控制研磨盤的盤面型從而提高樣品平整度；通過保持拋光盤的表面狀態(tài)從而提高樣品表面質量,。

為獲得*結果,，設備往復運動的速度和擺幅可以精確的控制樣品處理效果，從而提高了結果的高重復性和高*性,。

技術規(guī)格：