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NMC-4000（M） MOCVD設(shè)備
- 公司名稱(chēng) 那諾中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/4/28 9:21:20
- 訪問(wèn)次數(shù) 2295
進(jìn)口PAMOCVD進(jìn)口PEMOCVD等離子MOCVD金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉等離子輔助MOCVD
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ALD，PECVD,，RIE,，磁控濺射，熱蒸鍍,，電子束,，離子束，晶圓清洗機(jī),，PA-MOCVD,，飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥 |
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等離子輔助MOCVD技術(shù)
NMC-4000(M) MOCVD設(shè)備概述：NANO-MASTER針對(duì)InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺(tái)式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽),、加熱的氣體管路、950度樣品臺(tái)三個(gè)氣體環(huán),、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗,、250l/sec渦輪分子泵及無(wú)油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動(dòng)控制,，*的安全互鎖,。
目前，這項(xiàng)技術(shù)延伸到5個(gè)4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng),，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿(mǎn)足高產(chǎn)量的要求,。
NMC-4000(M) MOCVD設(shè)備特點(diǎn)：
- 臺(tái)式系統(tǒng)
- 10英寸不銹鋼腔體
- 帶碰頭氣體分配器的射頻等離子源
- 自動(dòng)調(diào)節(jié)
- 4英寸基片夾、可加熱到900°C
- 5個(gè)帶獨(dú)立冷卻/加熱的起泡器
- 加熱氣體管道
- 附加流量控制器
- 250升/秒渦輪分子泵組
- 5×10-7托基準(zhǔn)壓
- 電腦程序全自動(dòng)驅(qū)動(dòng)
- 儀器模擬用戶(hù)界面
- 緊急按鈕保護(hù)和安全互鎖
選配：
- 立式獨(dú)立系統(tǒng)
- 感應(yīng)耦合等離子或微波等離子源
- 14英寸電解拋光立方體腔體
- 8英寸或12英寸基片夾
- 6英寸可加熱至700°C旋轉(zhuǎn)基板臺(tái)（4英寸可到950°C）
- 附加的起泡器和MFC
- 晶圓自動(dòng)裝載/卸載
- 可兼容集群配置
應(yīng)用：
- 3到5族半導(dǎo)體層
- 藍(lán)色發(fā)光二極管
- 激光二極管
- 紫外-可見(jiàn)光譜光電中的氮化銦納米棒
- 3D或2D材料中的二硫化鉬,、氮化硼,、石墨烯
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