NIE-3000IBE離子束刻蝕
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 那諾中國有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/11/13 10:46:07
- 訪問次數(shù) 5686
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥 |
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IBE離子束刻蝕
NIE-3000IBE離子束刻蝕產(chǎn)品概述：該系統(tǒng)為手動放片取片，但通過計算機全自動實現(xiàn)工藝控制的臺式離子束刻蝕系統(tǒng),，系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)緊湊,、功能強大,、自動化程度高,、模塊化設(shè)計易于維護(hù)、低成本的優(yōu)勢,。該系統(tǒng)所配套的所有核心組件均為,。
NIE-3000IBE離子束刻蝕產(chǎn)品特點：
- 低成本
- 離子束：高達(dá)2KV/10mA
- 離子電流密度100-360uA/cm2
- 離子束直徑：4",5",6"
- 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
- 極限真空5x10-7Torr
- 260l/s渦輪分子泵，串接500 l/min干泵
- 14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體
- 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(NIE-3500)
- 自動上下載片（NIE-3500）
- 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
- 占地面積30"x30"
產(chǎn)品應(yīng)用：
- 表面處理
- 離子銑
- 表面清洗
- 帶活性氣體的離子束刻蝕： 光柵刻蝕，以及SiO2,，Si和金屬的深槽刻蝕
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