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小型等離子清洗機(jī)--PCE-6

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小型等離子清洗機(jī)

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,是由一群來自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè),。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī),、壓片機(jī),、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀,、低速外圓鋸,、金剛石線切割機(jī)、自動研磨,、拋光機(jī)),。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度,、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,,其中包括:箱式爐、氣氛爐,、管式爐,、井式爐、RTP快速升溫爐,、高溫高壓爐,、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備?,F(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*,,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*,、性能優(yōu)異,,質(zhì)量可靠,性價(jià)比高,,環(huán)保節(jié)能,、返修率低,遠(yuǎn)銷到歐洲,,美國,,日本,德國等許多國家,,廣泛應(yīng)用于物理,、化學(xué)、冶金,、醫(yī)學(xué),、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶*好評,。
 
  科晶公司秉承"以人為本,、技術(shù)為導(dǎo)、誠信為基,、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會發(fā)展做出貢獻(xiàn),。
 

真空管式爐,,高溫箱式爐,高速震動球磨機(jī),,RTP快速退火爐,,高溫高壓爐,涂覆機(jī),,電池制備設(shè)備等

        PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,,采用的射頻電源功率3.0MHz1%),輸出功率7.2W,、10.2W,、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣,、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備,。

 

技術(shù)參數(shù)

主要特點(diǎn)

  • 通過控制面板的按鍵及開關(guān),,可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉,、清洗時(shí)間,。
  • 時(shí)間、功率,、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
  • 設(shè)有一個(gè)三通閥,,可精確控制進(jìn)氣流量,,以及大氣流清洗腔體。
  • 選用大功率色射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn),。

參數(shù)

  • 電源:AC220V  50/60Hz
  • 輸出功率:7.2W,、10.2W29.6W
  • 真空泵功率:<500W
  • 總功率:<600W 
  • 射頻頻率:3.0MHz,,功率3檔可手動調(diào)節(jié)
  • 等離子腔體:高純石英腔體,,Φ160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,,法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗
  • 真空泵:24L/min,,直連式雙旋真空泵
  • 極限真空度:50mtorr
  • 通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2,、Ar,、H2O2,、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)

產(chǎn)品規(guī)格

  • 尺寸:400mm×300mm×300mm
  • 重量:10.2kg

可選配件

  • 2″-6″石英舟(盛放基片)
  • 2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,,終身維護(hù)



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