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施啟樂(lè)(廣州)儀器有限公司

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等離子清洗機(jī)- PCE-80

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等離子清洗機(jī)

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,,是由一群來(lái)自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國(guó)MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè),。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī)、壓片機(jī),、箱式爐,、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸,、金剛石線切割機(jī),、自動(dòng)研磨、拋光機(jī)),。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸,、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,,其中包括:箱式爐,、氣氛爐、管式爐,、井式爐,、RTP快速升溫爐,、高溫高壓爐,、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備?,F(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*,,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*,、性能優(yōu)異,,質(zhì)量可靠,性價(jià)比高,,環(huán)保節(jié)能,、返修率低,遠(yuǎn)銷到歐洲,,美國(guó),,日本,德國(guó)等許多國(guó)家,,廣泛應(yīng)用于物理,、化學(xué)、冶金,、醫(yī)學(xué),、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,,受到客戶*好評(píng)。
 
  科晶公司秉承"以人為本,、技術(shù)為導(dǎo),、誠(chéng)信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn),。
 

真空管式爐,,高溫箱式爐,高速震動(dòng)球磨機(jī),,RTP快速退火爐,,高溫高壓爐,涂覆機(jī),,電池制備設(shè)備等



技術(shù)參數(shù)

輸入電源

  • AC 220V , 50/60 Hz, 
  • zui大射頻功率: 100 W 
  • 真空泵功率: < 500W
  • 總功率: < 600W

射頻功率

  • 射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié)
  • 射頻:   13,56 MHz
  • 可以與本公司工作人員采用300W或500W的射頻電源,,來(lái)進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗(yàn)

等離子腔體

  • 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體
  • 鋁制折疊式法蘭來(lái)進(jìn)行真空密封
  • 法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口

控制面板

  • 通過(guò)6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率,、真空泵的開(kāi)啟,、清洗時(shí)間和氣體流量等.
  • 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計(jì),可精確地控制進(jìn)氣流量

真空泵

  • 儀器中包括一臺(tái)240L/min直聯(lián)式雙旋真空泵,、KF25波紋管以及KF25的手動(dòng)擋板閥,。
  • 極限真空度為50mTorr



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  •  

通入氣體

等離子腔體中可以通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子,如N2, Ar, Air,,H2,、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定)

可選

  • 可選購(gòu) 2" - 6" 石英舟來(lái)盛放基片
  • 可選購(gòu)2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

外型尺寸

620 L ×450 W ×600 H, mm

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)



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