化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實(shí)驗(yàn)爐>-OTF-1200X-50-PE-S PECVD管式爐
-OTF-1200X-50-PE-S PECVD管式爐
- 公司名稱 中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) -OTF-1200X-50-PE-S
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/2/10 17:41:31
- 訪問次數(shù) 7114
聯(lián)系方式:朱沫浥18255163376 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源,,一個(gè)爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵,。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD 系統(tǒng)。對(duì)于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來進(jìn)行材料探索,,此套系統(tǒng)極為理想,。
特征:
1、與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進(jìn)行氣相沉積實(shí)驗(yàn)
2,、對(duì)于薄膜的應(yīng)力可以通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制
3,、通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量
4,、能夠廣泛地用于各種材料沉積,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等.
技術(shù)參數(shù)
開啟式管式爐 |
|
等離子體射頻電源 |
|
真空法蘭和接頭 |
|
真空泵 |
|
產(chǎn)品尺寸和重量 | 外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H) 凈重: 160 lbs |
可選配置 | 請(qǐng)點(diǎn)擊查看下面的混氣及氣液混合系統(tǒng)
|
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,,終生維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件) |
質(zhì)量認(rèn)證 | CE Certified |