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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實(shí)驗(yàn)爐>-OTF-1200X-50-PE-S PECVD管式爐

-OTF-1200X-50-PE-S PECVD管式爐

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,,是由一群來自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī),、壓片機(jī),、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀,、低速外圓鋸,、金剛石線切割機(jī)、自動(dòng)研磨,、拋光機(jī))。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸,、溫度,、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,其中包括:箱式爐,、氣氛爐,、管式爐、井式爐,、RTP快速升溫爐,、高溫高壓爐,、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備?,F(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*,,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*,、性能優(yōu)異,,質(zhì)量可靠,性價(jià)比高,,環(huán)保節(jié)能,、返修率低,遠(yuǎn)銷到歐洲,,美國,,日本,德國等許多國家,,廣泛應(yīng)用于物理,、化學(xué)、冶金,、醫(yī)學(xué),、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶*好評(píng),。
 
  科晶公司秉承"以人為本,、技術(shù)為導(dǎo)、誠信為基,、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn),。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,,高速震動(dòng)球磨機(jī),,RTP快速退火爐,高溫高壓爐,,涂覆機(jī),,電池制備設(shè)備等

OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源,,一個(gè)爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵,。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD  系統(tǒng)。對(duì)于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來進(jìn)行材料探索,,此套系統(tǒng)極為理想,。

 

特征:

1、與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進(jìn)行氣相沉積實(shí)驗(yàn)

2,、對(duì)于薄膜的應(yīng)力可以通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制

3,、通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量

4,、能夠廣泛地用于各種材料沉積,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等.

 

技術(shù)參數(shù)

開啟式管式爐

  • 輸入電源:208 – 240V AC, 1.2kW
  • zui高工作溫度1200℃(小于1小時(shí))
  • 連續(xù)使用溫度1100
  • 采用高純氧化鋁作為爐膛材料,,并且表面涂有美國進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,,可延長儀器使用壽命和提高加熱效率
  • 高純石英爐管,尺寸為 50mmOD x 44mmID x  780mmL
  • 可設(shè)置30段升降溫程序,,并帶有過熱和斷偶保護(hù)
  • 加熱區(qū)長度為200mm,恒溫區(qū)長度為60mm(+/-1°C)

      
                 
    (點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

等離子體射頻電源

  • 輸出功率: 5 -500W可調(diào)
  • 穩(wěn)定性為+/-1%
  • 射頻電源頻13.56 MHZ, 穩(wěn)定性±0.005% 
  • zui大反向功率: 200W max
  • 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體陰極
  • 噪聲<50 dB.
  • 冷卻方式:空氣冷卻
  • 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz  
     

真空法蘭和接頭

  • 真空法蘭采用304不銹鋼制作
  • 左端法蘭上安裝有防腐型數(shù)字真空計(jì),、不銹鋼針閥和一個(gè)球閥。
  • 右端法蘭設(shè)計(jì)為KF25接口,,上面配有泄氣閥,,擋板閥和兩個(gè)KF25卡箍
  • 儀器中所配的數(shù)字真空計(jì),可以不用因使用氣體的不同而進(jìn)行校正,,同時(shí)還具有防腐功能(請(qǐng)點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹)

      

真空泵

  • AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
  • 2L/s
  • 與本公司管式爐配套使用,,可使其真空度達(dá)到10-2 torr
  • 進(jìn)氣端帶有儲(chǔ)氣球(防止回油),出氣端安裝有油霧過濾器(防止油霧擴(kuò)散到空氣中,,保護(hù)環(huán)境和人體健康)
     

產(chǎn)品尺寸和重量

外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)

凈重: 160 lbs

可選配置

請(qǐng)點(diǎn)擊查看下面的混氣及氣液混合系統(tǒng)

  • 防腐型小型三路浮子混氣系統(tǒng)
  • 精密氣液混合系統(tǒng)
  • 三路質(zhì)子混氣系統(tǒng)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,,終生維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)

質(zhì)量認(rèn)證

CE Certified



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