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OTF-1500X-80-III-4CV-PE 三溫區(qū)1500oC PECVD管式爐

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三溫區(qū)1500oC PECVD系統(tǒng)

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,,是由一群來自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè),。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機,、箱式爐,、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸,、金剛石線切割機,、自動研磨、拋光機),。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸,、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,,其中包括:箱式爐,、氣氛爐、管式爐,、井式爐,、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐,、鍍膜機,、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實驗室設(shè)備。現(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設(shè)備的*,,為科研工作者提供材料研究解決方案,。產(chǎn)品設(shè)計*、性能優(yōu)異,,質(zhì)量可靠,,性價比高,環(huán)保節(jié)能,、返修率低,,遠(yuǎn)銷到歐洲,美國,,日本,,德國等許多國家,廣泛應(yīng)用于物理,、化學(xué),、冶金,、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,,受到客戶*好評,。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo),、誠信為基,、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進步和社會發(fā)展做出貢獻。
 

真空管式爐,,高溫箱式爐,,高速震動球磨機,RTP快速退火爐,,高溫高壓爐,,涂覆機,電池制備設(shè)備等


技術(shù)參數(shù)

三溫區(qū)開啟式1500℃管式爐

  • zui高工作溫度1500
  • 連續(xù)使用溫度1400
  • 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)來控制,,都可設(shè)置30段升降溫程序
  • 每個溫區(qū)長度為200mm
  • 總溫區(qū)長度為600mm
  • 爐管為高純剛玉管
  • 爐管尺寸:84 O.D x 73 I.D x 1500mm L 
  • 輸入電源: 208 – 240V AC,,單相
  • zui大功率:6.6KW
  • 配有一對不銹鋼真空密封法蘭,法蘭上帶有石英觀察窗口
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層,,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,,同時延長儀器的使用壽命。

          (點擊圖片查看詳細(xì)資料)

射頻電源

  • 輸出功率:          5 -500W    ± 1% . 
  • 射頻頻率:          13.56 MHz    ±0.005% .
  • 反射功率:          zui大 200W 
  • 匹配:                自動
  • 射頻接口:       50 Ω, N-type
  • 噪音:                    <50 dB. 
  • 冷卻:                  風(fēng)冷
  • 電源:                AC   208-240V, 50/60Hz 

防腐型真空計

 

  • 輸入電源   24V,,1A  DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器)
  • 測量范圍   3.8x10-5 -1125 Torr.
  • 數(shù)據(jù)顯示   數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),,其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
  • 接頭     1/8"NPT 接頭
  • 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

真空系統(tǒng)

  • 采用TRP-12的雙旋真空泵極限真空10E-3 Torr 
  • KFD25 快接,不銹鋼波紋管,,手動擋板閥與法蘭,,真空泵相連.
  • 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr 
     

質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng)

  • 四個精密的質(zhì)量流量計(精度1.5% ) :數(shù)字顯示,自動控制.
  • MFC 1范圍:  0~100 sccm 
  • MFC 23:    0~200 sccm  
  • MFC 4范圍:   0~500 sccm 
  • 一個混氣罐,,底部裝有泄廢液口
  • 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),,可手動控制4種氣體.
  • 進氣口: 41/4NPS. 
  • 出氣口: 4個 1/4NPS. 
  • 采用PLC控制流量計,通過觸摸屏進行控制

溫控系統(tǒng)

  • 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)控制
  • 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,,可設(shè)置30段升降溫程序
  • 帶有超溫和斷偶保護
  • 控溫精度:+/- 1 ºC
  • 控溫儀表操作視頻
  • 可選;此款設(shè)備可以安裝控制模塊,,將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦

外型尺寸

  • 爐體:550 x 380 x 520  mm 
  • 爐體下端移動柜:1800×600×600mm
  • 凈重:220 Lbs. 
  • 運輸重量:1200lbs

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護,,相關(guān)耗材除外如爐管,,密封圈等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

  CE Certified

  



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