雙電四探針電阻率詳情介紹

適用范圍

1.覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜,，高、低溫電熱膜;隔熱,、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布,、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽,、合金類箔膜;熔煉,、燒結(jié)、濺射,、涂覆,、涂布層，電阻式,、電容式觸屏薄膜;電極涂料,，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測(cè)試

2.硅晶塊,、晶片電阻率及擴(kuò)散層,、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜,、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻  半導(dǎo)體材料/晶圓,、太陽(yáng)能電池、電子元器件,，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等）,，金屬膜，導(dǎo)電漆膜,，蒸發(fā)鋁膜,，PCB銅箔膜，

3.EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率  導(dǎo)電性油漆,，導(dǎo)電性糊狀物,，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠,，導(dǎo)電性薄膜,，金屬薄膜，

4.抗靜電材料,， EMI 防護(hù)材料,，導(dǎo)電性纖維，導(dǎo)電性陶瓷等,，

雙電四探針電阻率詳情介紹

功能描述Description：

1. 四探針組合雙電測(cè)量方法

2. 液晶顯示,，自動(dòng)測(cè)量,，自動(dòng)量程,，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.

3. 集成電路系統(tǒng),、恒流輸出.

4. 選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.

5. 提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇

參照標(biāo)準(zhǔn)：

1.硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.

2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》.

4.GB/T 1552-1995《硅,、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》.

雙電組合測(cè)試方法：

利用電流探針,、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量,，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,，適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試,。

工作原理和計(jì)算公式

1.雙電測(cè)四探針法測(cè)試薄層樣品方阻計(jì)算和測(cè)試原理如下：

直線四探針測(cè)試布局如圖8，相鄰針距分別為S1,、S2,、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理：

當(dāng)電流通過1、4探針,，2,、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下：