ME-210 橢偏儀
- 公司名稱 北京飛凱曼科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) ME-210
- 產(chǎn)地 13718810335 [email protected] QQ1606737747
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2017/7/13 6:33:33
- 訪問(wèn)次數(shù) 613
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半導(dǎo)體激光器,單頻激光器,探針臺(tái),探針座,表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng),霍爾效應(yīng)測(cè)試儀,摻鉺光纖放大器,,微波介電常數(shù)測(cè)試儀,在線粘度計(jì)
北京飛凱曼公司提供光子晶體探測(cè)器型成像橢偏儀,。這種光子晶體探測(cè)器型的成像橢偏儀是有日本PHL公司*,,并應(yīng)用到的測(cè)試中。日本PHL公司在光子晶體的研究和制造領(lǐng)域世界,,由此開發(fā)出的光子晶體探測(cè)器型具有測(cè)試速度快,、測(cè)量準(zhǔn)確、免維護(hù),、價(jià)格低廉等特點(diǎn)已經(jīng)在光學(xué)薄膜,、半導(dǎo)體薄膜、有機(jī)薄膜等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,。該可快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜的厚度和折射率的分布,。
相比傳統(tǒng)的光譜型,光子晶體探測(cè)器型避免了探測(cè)器的機(jī)械運(yùn)動(dòng),。使得測(cè)試速度更快,、測(cè)試更加準(zhǔn)確、成本更加低廉,。
ME-210型光子晶體探測(cè)器型特點(diǎn):
- 可用于8英寸樣品的3D快速成像
- 可用于厚度差異小于1nm以內(nèi)的薄膜的快速和高精度成像
- 超高速測(cè)量,,zui高速度可達(dá)20000點(diǎn)/分鐘
- 超高分辨率的測(cè)量,zui小面積可達(dá)50um2
- 可進(jìn)行透明基底上的薄膜的測(cè)試
技術(shù)規(guī)格:
型號(hào) | ME-210/110 |
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重復(fù)性精度 | 0.1nm(厚度), 0.001(折射率) | |
測(cè)量速度 | 每分鐘1000個(gè)點(diǎn)以上 | |
光源 | 636nm 半導(dǎo)體激光器 | |
測(cè)量點(diǎn)尺寸 | 0.5mm2 |
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入射角 | 70度 | |
樣品尺寸 | 8英寸(可選12英寸) |
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儀器尺寸和重量 | 650x650x1740mm/120kg |
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數(shù)據(jù)接口 | 千兆以太網(wǎng)(攝像機(jī)信號(hào)),,RS-232C | |
電源 | AC100-240V(50/60Hz) | |
軟件 | SE-View |
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