FTPA-2000 ABB AnalyzeIT濕法過(guò)程分析儀
參考價(jià) | ¥ 13 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 杭州格圖科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) FTPA-2000
- 產(chǎn)地 加拿大
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2016/3/22 13:32:19
- 訪問(wèn)次數(shù) 2188
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New ClipplR AnalyzeIT濕法過(guò)程分析儀
ABB用于半導(dǎo)體工業(yè)中濕法分析過(guò)程在線,、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和控制的解決方案
在半導(dǎo)體制造業(yè)中,,對(duì)濕法化學(xué)過(guò)程進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)可以提高產(chǎn)量,降低故障率,,使生產(chǎn)利潤(rùn)zui大化
在半導(dǎo)體制造中,,為了提高企業(yè)的生產(chǎn)能力和產(chǎn)品質(zhì)量,,降低生產(chǎn)成本,需要對(duì)相關(guān)的濕法化學(xué)過(guò)程進(jìn)行精確的控制,。ABB公司的濕法過(guò)程分析儀(WPA)可以對(duì)各種刻蝕液,、清洗液和去光膠液的化學(xué)濃度進(jìn)行連續(xù)地在線監(jiān)測(cè),并為實(shí)時(shí)過(guò)程控制提供了必要的信息,。
采用實(shí)時(shí)過(guò)程監(jiān)測(cè),,企業(yè)能從化學(xué)制品有效期的延長(zhǎng)、消耗與浪費(fèi)的減少以及實(shí)驗(yàn)室測(cè)量工作的減輕等方面提高成本效益,。實(shí)踐表明,,將SC1/SC2等清洗液的使用壽命延長(zhǎng)25%到30%,WPA的投資成本一般可以在一年內(nèi)收回,。對(duì)于一些通用的有機(jī)化學(xué)試劑,,它的成本回收期大約只有6個(gè)月左右。
WPA具有許多*的技術(shù)優(yōu)勢(shì),,它能夠?qū)穹ㄟ^(guò)程中使用的30多種不同的溶液(見(jiàn)下列表)進(jìn)行監(jiān)測(cè),。另外,ABB公司還可以根據(jù)客戶的具體要求定制專門(mén)的標(biāo)準(zhǔn)曲線,。
WPA系統(tǒng)中包含的FTSW100過(guò)程控制軟件,,可以實(shí)現(xiàn)分析儀與濕法過(guò)程的*集成。除了能夠顯示在過(guò)程中監(jiān)測(cè)到的各種化學(xué)成分的濃度值及其變化趨勢(shì)外,,該軟件還有自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能,,當(dāng)某些數(shù)值超出了許可范圍時(shí),該然間還會(huì)發(fā)出警告或報(bào)警,。當(dāng)清洗液成分部符合要求時(shí),,軟件會(huì)報(bào)警通知操作人員,同時(shí)使設(shè)備自動(dòng)阻擋清洗液的流入,。
非接觸式紅外檢測(cè)
WPA主機(jī)為傅立葉變換近紅外光譜儀(FT-NIR),,這種光譜儀通過(guò)光纖連接到名為CLippiIR 的Teflon檢測(cè)池。一次zui多可以使用8個(gè)CLippiIR 來(lái)同時(shí)檢測(cè)各種化學(xué)溶液,。CLippiIR 的創(chuàng)新設(shè)計(jì)可以使用能夠很容易地固定在現(xiàn)有管道的外表面上,。穿過(guò)CLippiIR 的紅外光使系統(tǒng)可以直接監(jiān)測(cè)管道內(nèi)的化學(xué)物濃度,而不會(huì)造成任何污染,。
CLippiIR 專為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì),能夠安裝在很小的化學(xué)箱體之上,,或者安裝在濕法設(shè)備的其它任何部件之內(nèi),。另外,它還具有抵抗化學(xué)腐蝕的能力,,可以在強(qiáng)腐蝕性環(huán)境中使用,。
FTPA-2000系列光譜儀可以在惡劣的工業(yè)條件下使用,,它具有很小的外形尺寸(43*41*18里面),可以安裝在離CLippiIR 遠(yuǎn)達(dá)100米處,。它既可以在潔凈室外作為一個(gè)獨(dú)立的裝置單獨(dú)使用,,也可以集成的整個(gè)過(guò)程分析儀系統(tǒng)中使用。
Teflon檢測(cè)池 | 新型產(chǎn)品CLippiIR 具有抗污染和抗化學(xué)腐蝕性能,,并且不需要中斷生產(chǎn)就可以在生產(chǎn)流路中快速安裝,。 |
多路分析 | 1臺(tái)WPA能夠檢測(cè)多達(dá)8種不同的過(guò)程流,對(duì)每個(gè)流路可以分析其4中配方(zui多可以達(dá)32個(gè)參數(shù)),。 |
紅外(IR)分析 | 半導(dǎo)體紅外分析避免了在過(guò)程流中循環(huán)的溶解金屬或其它顆粒物所造成的干擾,。 |
插入式測(cè)量 | 不需要引出過(guò)程支流,可通過(guò)光纖傳輸?shù)募t外線對(duì)管道中的過(guò)程流直接進(jìn)行測(cè)量,。 |
遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè) | WPA可以設(shè)置在離測(cè)量點(diǎn)(CLippiIR )遠(yuǎn)達(dá)100米處,,如果需要,還可以將其放在室外,。 |
FTSW100過(guò)程控制軟件中的測(cè)量屏幕將顯示各種成份的濃度值與變化趨勢(shì),。
特點(diǎn): | 優(yōu)勢(shì) |
可對(duì)濕法化學(xué)過(guò)程進(jìn)行精確的、實(shí)時(shí)的在線監(jiān)測(cè),; | 由于延長(zhǎng)了清洗液使用壽命,,減少了化學(xué)品消耗量,并且無(wú)離線實(shí)驗(yàn)室分析所需要的停工期,,因此節(jié)約了生產(chǎn)費(fèi)用,; |
非接觸式測(cè)量; | 無(wú)化學(xué)品損耗,,無(wú)污染,,安裝時(shí)無(wú)需停工; |
快速測(cè)量(<1分鐘,,多種通訊協(xié)議),; | 能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時(shí)過(guò)程控制; |
多過(guò)程流分析(zui多可達(dá)8個(gè)流路),; | 每條過(guò)程流分析成本低,; |
多組分分析(每個(gè)流路zui多可達(dá)4種配方); | 增強(qiáng)了再技術(shù)要求很嚴(yán)格的場(chǎng)合過(guò)程分析性能,,減少了晶片清洗的次數(shù),; |
通過(guò)光纜實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè) 外形尺寸小,; | 靈活的安裝選擇,; |
*的穩(wěn)定性與可靠性; | 無(wú)漂移,僅需少量維護(hù),; |
不需要使用試劑,; | 交鑰匙系統(tǒng); |
化得售后服務(wù)與,。 | 迅速的服務(wù)響應(yīng),。 |