-135℃水汽捕集泵   -135℃ Water vapor cryopump

應用原理:

    在使用油擴散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體,，80%以上是水蒸汽,、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低,，時間長,，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響,。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇,。

    深冷泵的工作原理：將一個能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口,，通過其表面的低溫冷凝效應,，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60-90%的抽氣時間）,、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個數(shù)量級,，達到10^-8 Torr、10^-5 Pa),。

在實際應用當中,，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類（見圖）：

1、水汽捕集器

    它的制冷盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內,、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用于塑料低溫鍍膜,、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合,。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復到常溫,，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜,，影響下次抽真空。 

2,、低溫冷阱

    放在油擴散泵的泵口,，高閥以下,，它主要功能是防止油擴散泵返油，同時也可以加快抽速,、提高真空度,。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無需除霜裝置,。

根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時安裝.

    本公司研發(fā)生產的-135℃深冷水汽捕集泵,，采用單臺壓縮機、自動復疊制冷方式,、進口壓縮機及制冷配件,、環(huán)保混合型制冷劑生產,，替代液氮,，節(jié)約成本。具有制冷速度快,、效率高,、溫度低、維護方便等特點,，其性能指標在國內處于地位,，達到甚至超過*水平。

主要的性能特點

1,、快速吸附水,、油蒸汽、可縮短排氣時間60-90%,；

2,、降溫迅速，3分鐘內制冷到-120℃,，zui低可到-150℃,；

3、2分鐘熱氣除霜,，迅速回溫,，5分鐘可再降溫;

4、一臺設備可設計兩路負載輸出,；

5,、進口壓縮機，環(huán)?；旌闲椭评鋭?/span>;

6,、觸摸屏+PLC=完善的自動化控制；

7、具有兩路負載入口和出口溫度顯示,、本機溫  度顯示,；

8、當待機溫度到達后有指示燈提示,，可以開始制冷,；

9、除霜溫度自由設定,；

10,、具有水溫溫度、排氣溫度顯示,；

11,、缺水、水溫過高報警,；  

12,、壓縮機排氣過高、壓力過高保護,；

13,、電源斷電、缺相報警,；

14,、可本地、遠程控制自由轉換,；

15,、RS485計算機數(shù)據(jù)接口，計算機可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制,。