-135℃水汽捕集泵   -135℃ Water vapor cryopump

應(yīng)用原理:

    在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽,、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽,，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長,，而且所有殘余氣體還是工件的污染源,，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇,。

    深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤管,，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng),，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體,。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí),，達(dá)到10^-8 Torr,、10^-5 Pa),。

在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類（見圖）：

1,、水汽捕集器

    它的制冷盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi),、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜,、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場(chǎng)合,。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復(fù)到常溫,，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜,，影響下次抽真空。 

2,、低溫冷阱

    放在油擴(kuò)散泵的泵口,，高閥以下，它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油,，同時(shí)也可以加快抽速,、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài),，無需除霜裝置,。

根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時(shí)安裝.

    本公司研發(fā)生產(chǎn)的-135℃深冷水汽捕集泵，采用單臺(tái)壓縮機(jī),、自動(dòng)復(fù)疊制冷方式,、進(jìn)口壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)?；旌闲椭评鋭┥a(chǎn),，替代液氮，節(jié)約成本,。具有制冷速度快,、效率高、溫度低,、維護(hù)方便等特點(diǎn),，其性能指標(biāo)在國內(nèi)處于地位，達(dá)到甚至超過*水平,。

主要的性能特點(diǎn)

1,、快速吸附水、油蒸汽,、可縮短排氣時(shí)間60-90%,；

2、降溫迅速，3分鐘內(nèi)制冷到-120℃,，zui低可到-150℃,；

3、2分鐘熱氣除霜,，迅速回溫,，5分鐘可再降溫;

4、一臺(tái)設(shè)備可設(shè)計(jì)兩路負(fù)載輸出,；

5,、進(jìn)口壓縮機(jī)，環(huán)?；旌闲椭评鋭?/span>;

6,、觸摸屏+PLC=完善的自動(dòng)化控制；

7,、具有兩路負(fù)載入口和出口溫度顯示,、本機(jī)溫  度顯示；

8,、當(dāng)待機(jī)溫度到達(dá)后有指示燈提示,，可以開始制冷；

9,、除霜溫度自由設(shè)定；

10,、具有水溫溫度,、排氣溫度顯示；

11,、缺水,、水溫過高報(bào)警；  

12,、壓縮機(jī)排氣過高,、壓力過高保護(hù)；

13,、電源斷電,、缺相報(bào)警；

14,、可本地,、遠(yuǎn)程控制自由轉(zhuǎn)換；

15,、RS485計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)接口,，計(jì)算機(jī)可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制。