膜厚監(jiān)測儀SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術(shù)在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的儀器,，標(biāo)準(zhǔn)型有兩路傳感器輸入，同時(shí),，4路傳感器輸入可選,，具體視用戶實(shí)際應(yīng)用而定,；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號,。

在大型系統(tǒng)中,，傳感器輸入可以分配給不同材料,，采集的數(shù)據(jù)通過平均值，以達(dá)到更準(zhǔn)確的沉積控制；也可以設(shè)定為雙探頭模式,。在高沉積速率過程中,，為了延長傳感器的使用壽命，速率采集 模式允許探頭帶一個(gè)檔板,。用戶可以自己選擇0.1埃/s 還是0.01埃/s的速率顯示模式.另外,，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示模式,。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源,、探頭檔板,、信號時(shí)間,、膜厚設(shè)定值以及晶片失效信號等,。

數(shù)字輸入可以通過外部信號來對讀數(shù)進(jìn)行開始/停止和清零操作,。SQM160石英晶體監(jiān)測儀采用了RS-232接口和Windows窗口軟件,，可以通過電腦上進(jìn)行調(diào)試安裝,。軟件可以用來設(shè)置和存儲所有參數(shù)，包括儀器操作和保留程序數(shù)據(jù)到特定的Excel?文檔。同時(shí),，USB或以太網(wǎng)選項(xiàng)也添加通信協(xié)議中,，以大程度方便不同用戶,。

便于使用

開啟速率和膜厚測量,，只需先按住Zero鍵以清除上次讀數(shù)，然后關(guān)閉,，打開源和傳感器檔板,。寬大明亮的LED顯示器可以同時(shí)顯示膜層厚度和沉積速率,，即使操作人員離監(jiān)測儀一定距離也仍然清晰可見。當(dāng)達(dá)到預(yù)設(shè)膜厚或者鍍膜時(shí)間到了,，檔板就會自動(dòng)關(guān)閉,，同時(shí)前面板報(bào)警器開始亮燈。在鍍膜過程中,，操作員可以在任意時(shí)間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對監(jiān)測儀的99個(gè)存儲膜系進(jìn)行設(shè)置。首先，選“program”鍵,，進(jìn)入菜單，然后,，旋轉(zhuǎn)撥針鈕,，這樣就可以選擇或者編輯參數(shù)了,。主顯示界面顯示菜單提示,，而設(shè)定的數(shù)據(jù)可以在輔助界面中找到,。

高精度,，低成本

膜厚監(jiān)測儀標(biāo)準(zhǔn)型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個(gè)讀數(shù)/秒,如果用戶有更嚴(yán)格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個(gè)讀數(shù)/秒的高精型。SQM160另一大優(yōu)點(diǎn)是在整個(gè)工作范圍內(nèi),，溫度穩(wěn)定性可以達(dá)到2ppm,。高精度和高穩(wěn)定性的聯(lián)袂使得該款儀器具備了超卓的性價(jià)比,。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、雙通道（標(biāo)準(zhǔn)型）,，四通道可選

2,、沉積速率/膜層厚度模擬輸出

3、高精度: 0.03Hz at 10個(gè)讀數(shù)/s

4、RS-232 接口, USB 或以太網(wǎng)可選