真空質(zhì)譜計(jì)及其應(yīng)用與發(fā)展

（作者：錢永生）

（一）

質(zhì)譜學(xué)是研究如何使中性樣品形成離子,，并使這些具有不同質(zhì)荷比的離子在特定的電磁場中運(yùn)動(dòng),，從而將它們分離的科學(xué),。它是一門應(yīng)用性很強(qiáng)的技術(shù)科學(xué),。質(zhì)譜儀器是建立在分子（原子）電離技術(shù)和離子光學(xué)理論基礎(chǔ)上的,。處在今天發(fā)展水平上的質(zhì)譜儀器,，不只是一種分析譜儀,，而且已成為有力的研究手段,。它被廣泛應(yīng)用于真空科學(xué),、表面物理、反應(yīng)動(dòng)力學(xué)和固體研究,，以及同位素分析,、原子質(zhì)量精測、化學(xué)分析,、有機(jī)分析等領(lǐng)域,。

    質(zhì)譜學(xué)的建立可以追溯到本世紀(jì)初，早在1918年,，Dempster首先描述了180°磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜儀,，而*臺(tái)動(dòng)態(tài)質(zhì)譜計(jì)－射頻速度過濾器是Smythe于1926年提出的,。其他的動(dòng)態(tài)質(zhì)譜計(jì)（如：射頻質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì),、飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)和四極質(zhì)譜計(jì)等）都是四十年代末到五十年代出現(xiàn)的,。早期，這些儀器并不是用作為真空分析器的,，主要用于同位素豐度比測量,、帶電粒子的質(zhì)荷比測量等，但當(dāng)時(shí)正值真空技術(shù)處于向超高真空發(fā)展的重要階段,，因此,，這些質(zhì)譜計(jì)出現(xiàn)不久，就被作成的真空質(zhì)譜計(jì)了,。

真空技術(shù)中使用的質(zhì)譜儀器通常稱為真空質(zhì)譜計(jì),，它主要用作氣體分析和分壓強(qiáng)測量。同一般質(zhì)譜計(jì)相比,，有很多共同之處,，也有一些特殊要求。

質(zhì)譜計(jì)都是由離子源,、質(zhì)量分析器和離子檢測器三部分組成的,。

1.   離子源：其功能是利用低能電子轟擊被分析氣體的分子或原子使之電離成正離子，由離子光學(xué)系統(tǒng)將所產(chǎn)生的正離子加速和會(huì)聚成具有一定能量和幾何形狀的離子束,，再引入分析器,。離子源的形式有多種，但用得zui多的還是電子碰撞式離子源,。離子源對(duì)質(zhì)譜計(jì)性能有較大影響,，其主要指標(biāo)是離子產(chǎn)額和能量分散

2.   質(zhì)量分析器：其功能是利用電、磁場的作用將注入的離子束分離成不同質(zhì)荷比的組分,。分析器的主要特性是傳輸率和分辨本領(lǐng),。分析器是質(zhì)譜計(jì)的主體。按其工作原理的不同,，可將質(zhì)譜計(jì)分成四類：

（1）     磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)：它是按離子在垂直于直流磁場的平面中運(yùn)動(dòng)時(shí),，不同質(zhì)荷比的離子有不同的偏轉(zhuǎn)半徑的原理來進(jìn)行質(zhì)量分離的。屬于此類儀器的有單聚焦的180°,、90°,、60°磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)和擺線質(zhì)譜計(jì)。

           （2）飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)：在這種儀器中,，給定能量（或動(dòng)量）的不同質(zhì)荷比的離子按其通過漂移管的時(shí)間的不同而進(jìn)行質(zhì)量分離,。

（3）能量平衡質(zhì)譜計(jì)：這類儀器是根據(jù)離子在振蕩電場中運(yùn)動(dòng)時(shí)按其動(dòng)能變化的不同而進(jìn)行質(zhì)量分離的。屬于這類儀器的有射頻質(zhì)譜計(jì)和回旋質(zhì)譜計(jì)。

（4）穩(wěn)定性質(zhì)譜計(jì)：是根據(jù)不同質(zhì)荷比的離子在分析場內(nèi)作振蕩運(yùn)動(dòng)時(shí),，按其相位或軌跡的穩(wěn)定與否而進(jìn)行質(zhì)量分離的儀器,。屬于這類儀器的有線振質(zhì)譜計(jì)、四極質(zhì)譜計(jì),、單極質(zhì)譜計(jì)和三維四極離子阱,。

      3.離子檢測器：通常用直接電測法（法拉第筒）或二次效應(yīng)電測法（二次電子倍增器）檢測已按質(zhì)荷比分類的離子流并用電學(xué)方法記錄下來。當(dāng)用改變分析場參數(shù)的方法進(jìn)行“質(zhì)量掃描”時(shí),，就可以得到與被分析氣體成分相對(duì)應(yīng)的質(zhì)譜圖,。

對(duì)真空質(zhì)譜計(jì)的基本要求是：（1）探頭具有小的容積和內(nèi)表面，能烘烤除氣,，對(duì)待測的真空狀態(tài)影響小,。（2）質(zhì)譜的峰強(qiáng)和圖形系數(shù)與待測氣體之間應(yīng)有一定的定量關(guān)系。（3）質(zhì)譜計(jì)要有合適的技術(shù)指標(biāo)：質(zhì)量范圍（通常大于50原子質(zhì)量單位）大于待測氣體分子質(zhì)量數(shù),；分辨本領(lǐng)足以區(qū)分各個(gè)離子譜峰；靈敏度盡可能高（能帶電子倍增器）,；工作壓強(qiáng)范圍寬,；zui小可檢分壓強(qiáng)盡量低；掃描速度要快,。另外,，還希望探頭輕便、易于安裝和使用,，成本低,。

    早期出現(xiàn)的多種不同形式的質(zhì)譜計(jì)中，有些因缺點(diǎn)較多,，已逐漸被淘汰,。目前，發(fā)展zui快應(yīng)用zui廣的質(zhì)譜計(jì)是四極質(zhì)譜計(jì),。這種質(zhì)譜計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是不需要磁場,，結(jié)構(gòu)簡單，分辨本領(lǐng)和靈敏度較高,，并且可通過改變電參數(shù)方便地調(diào)整,，工作壓強(qiáng)范圍寬；質(zhì)量標(biāo)度線形,，探頭可作成“裸規(guī)”形式,，安裝使用方便，分析器對(duì)離子束的軸向能量分散和角度分散不很敏感,。1953年Paul開創(chuàng)性的理論研究,，使得四極質(zhì)譜計(jì)研制成功。60年代四極質(zhì)譜計(jì)商品化程度還很低,，目前,，已發(fā)展成為占所有質(zhì)譜計(jì)的產(chǎn)量的90％以上,。其它性能指標(biāo)較好且獲得廣泛應(yīng)用的小型真空質(zhì)譜計(jì)還有磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)（價(jià)格低、穩(wěn)定可靠,、易于定量分析）,；回旋質(zhì)譜計(jì)（特別適合于小型超高真空系統(tǒng)和密封器件的定量分析）；飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)（特別適合于快速變化過程的分析）,。