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原子力顯微鏡 XN-10

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原子力顯微鏡,FEI掃描電鏡,X射線分析儀器

原子力顯微鏡 XN-10技術(shù)參數(shù)
XY掃描器
柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器
掃描范圍50μm×50μm(可選100μm×100μm)
分辨率:0.05nm
定位檢測噪音:<0.3nm(帶寬:1kHz)
平面偏移度:<1nm(超過40μm掃描)
原子力顯微鏡 XN-10主要特點:

一,、計量精確
XE系列AFM*消除了球面誤差,因而具備了實現(xiàn)精確納米計量的能力,。

二,、掃描器線形度高,直角正交
XE系列AFM采用了柔性掃描器zui大限度減小了X和Y掃描運動的交叉耦合,,并且通過位移傳感器及時進(jìn)行反饋控制,,這就有效保證了掃描的準(zhǔn)確度和精度。

三,、非接觸式掃描
可真正實現(xiàn)非接觸式掃描是Park AFMzui顯著的技術(shù)優(yōu)勢,。采用這一模式掃描時,針尖和樣品間距可以保持在幾個納米,,在避免針尖磨損的同時提高了成像質(zhì)量,。

四、CrN樣品測試結(jié)果
CrN樣品具有點狀尖銳的特點,,是常用的AFM探針性能測試樣品,。如采用輕敲模式進(jìn)行掃描,10次后圖像質(zhì)量就因針尖磨損而明顯下降,。在非接觸掃描實驗中,,掃描100次后圖像細(xì)節(jié)依然清晰,證明針尖沒有受到損傷,。



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